열가스 질량 흐름 컨트롤러(MFC)

간단한 설명:

열가스 질량 유량 컨트롤러(MFC)는 질량 유량계의 기능을 가질 뿐만 아니라 더 중요한 점은 가스 유량을 자동으로 제어할 수 있다는 것입니다. 즉, 사용자가 요청에 따라 유량을 설정할 수 있다는 의미입니다.MFC는 설정된 값에 대한 흐름을 자동으로 수정합니다.시스템의 압력이 변하거나 주변 온도가 변하더라도 설정값은 벗어나지 않습니다.간단히 말해서, 질량유량 컨트롤러는 흐름이 안정적인 장치이며, 수동으로 프로그래밍하거나 컴퓨터에 의해 자동으로 제어할 수 있는 가스 흐름이 안정적인 장치입니다.

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제품 상세 정보

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모델	SQC-100
흐름 범위(N2)	0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM
흐름 범위(N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
정확성	±1%FS(≤15SLM); ±2%FS(>15SLM)
밸브 구동 유형	정상 폐쇄
선형성	±1%FS(≤15SLM); ±2%FS(>15SLM)
반복성	±0.2%FS
응답 시간	1초 이하
입출력 신호	0~5V
전기 조인트	DB15 핀(바늘)
운영시간	5~45℃
차동 사전.	0.05~0.5MPa(MFC); 0.03~3.0MPa(MFM)
누출율	1×10-8SCCS(그)
최대.압력	3MPa
중간 소재	316L SS 및 밀봉재
씰링 재료	Viton, 실리콘 고무, NBR, 테플론, 금속 씰.
조인트 크기	VCR 1/4"; Swagelok 1/8" , 1/4"; Ø3, Ø6mm
전원공급장치	+15V,50mA;-15V,200mA

모델	SQC-200
흐름 범위(N2)	MFC: 0~20,30 ,50 ,100 ,150, 200SLM
흐름 범위(N2)	MFM: 0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM
정확성	±2%FS
밸브 구동 유형	정상 폐쇄
선형성	±2%FS
반복성	±0.2%FS
응답 시간	5초 이하
입출력 신호	1~5V; 4~20mA
전기 조인트	DB15 핀(바늘)
운영시간	5~45℃
차동 사전.	0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa(MFM)
누출율	1×10-8SCCS(그)
최대.압력	3MPa
중간 소재	316L SS 및 밀봉재
씰링 재료	바이톤, 실리콘 고무, NBR, ERP, 테프론
조인트 크기	Swagelok 3/8" 、1/2"; Ø8, Ø10, Ø12mm
전원공급장치	24V,0.5A