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Controlador de fluxo de massa de gás térmico (MFC)

Pequena descrição:

O controlador de fluxo de massa de gás térmico (MFC) não só tem a função de medidor de fluxo de massa, mas também, mais importante, pode controlar o fluxo de gás automaticamente, o que significa que o usuário pode definir o fluxo conforme solicitação.O MFC corrigirá o fluxo no valor definido automaticamente.O valor definido não será desviado mesmo se a pressão do sistema flutuar ou a temperatura ambiente mudar.Resumindo, o controlador de fluxo de massa é um dispositivo estável de fluxo, é um dispositivo estável de fluxo de gás que pode ser programado manualmente ou controlado automaticamente por um computador.

 


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Ormalgasmbundafbaixometer(MFM)isakindofacturatemeasurementofgasflow,the measuredvalusamarenotcontrolleDbyfluctuationsintemperatureorpressclaro, não precisotheheompensationoftemperatureandpressure.

Modelo SQC-100
Faixas de Fluxo (N2) 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Precisão ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Tipo de acionamento de válvula Normalmente Fechado
Linearidade ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Repetibilidade ±0,2%FS
Tempo de resposta ≤1seg
Sinal de entrada/saída 0~5V
Junta Elétrica Pino DB15 (agulha)
Operação Tem. 5~45°C
Pré Diferencial. 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC); 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM)
Taxa de vazamento 1×10-8SCCS (Ele)
Máx.Pressão 3 MPa
Material Médio SS 316L e material de vedação
Material de vedação Viton, Borracha de silicone, NBR, Teflon, Vedação metálica.
Tamanho da junta VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm
Fonte de energia +15V,50mA;-15V,200mA
Modelo SQC-200
Faixas de Fluxo (N2) MFC:0~20,30,50,100,150,200SLM
MFM:0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM
Precisão ±2%FS
Tipo de acionamento de válvula Normalmente Fechado
Linearidade ±2%FS
Repetibilidade ±0,2%FS
Tempo de resposta ≤5seg
Sinal de entrada/saída 1~5V;4~20mA
Junta Elétrica Pino DB15 (agulha)
Operação Tem. 5~45°C
Pré Diferencial. 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM)
Taxa de vazamento 1×10-8SCCS (Ele)
Máx.Pressão 3 MPa
Material Médio SS 316L e material de vedação
Material de vedação Viton, borracha de silicone, NBR, ERP, Teflon
Tamanho da junta Swagelok 3/8” 、 1/2”; φ8、φ10、φ12mm
Fonte de energia 24V,0,5A

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