Mirë se vini në faqet tona të internetit!

Kontrolluesi i rrjedhës së masës Matësi i rrjedhës së masës CS200

Përshkrim i shkurtër:

MFC-të CS200 me sensorë të avancuar dhe teknologji të kompensimit të temperaturës mund të arrijnë ±1% saktësi SP dhe një koeficient të ulët të temperaturës.Përveç kësaj, MFC-të CS200 me sistemin e avancuar të kontrollit mesatarisht 800 ms për të gjitha ndryshimet e pikës së caktuar, duke minimizuar çdo gabim të sistemit në proces.


Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Veçoritë

1. Saktësi e lartë dhe përgjigje e shpejtë

Saktësia e MFC CS200 është përmirësuar në ±1,0% të SP dhe modelet më të avancuara kanë një kohë të reduktuar përgjigjeje prej më pak se 0,8 sek.

2. Zhvendosja e ulët zero dhe koeficienti i temperaturës

Shpikja e teknologjisë së re të sensorëve i mundëson CS200 MFC të ruajë stabilitetin dhe të përballojë luhatjet e temperaturës.Pa një përforcues automatik zero, zhvendosja e pritshme zero është më e vogël se 0,6%FS/vit dhe koeficienti i temperaturës është më pak se 0,02%FS/℃(zero), 0,05%FS/℃ (hapësirë).

3. Modele të vulosura me metal dhe veçori me pastërti të lartë

Rruga e rrjedhës së lagur e linjës CS200 MFC është e ndërtuar nga çelik inox i pasivuar në sipërfaqe.Të gjithë MFC-të CS200 janë montuar në dhomat e pastërta ultra të pastërta të klasës 100 të Sevenstar në përputhje me standardet SEMI dhe ISO 9001.

4. Ndërfaqet e pajtueshme

CS200 MFC është i pajtueshëm me ndërfaqet e mëposhtme, të cilat mund të zgjidhen nga klienti: ±8V-±16V furnizimi me energji elektrike me dy skaje dhe +14V-+28V furnizim me energji me një skaj;hyrje dhe dalje e sinjalit dixhital ose analog;Dimensionet mekanike standarde SEMI;dhe RS-485 ose moduli i komunikimit DeviceNet.

5. Funksione të ndryshme

Softueri i fuqishëm i klientit vjen standard me secilin model, ndërsa funksione shtesë si shumë-gaz, me shumë rreze, auto-zero, alarme, fillimi i butë dhe vonesa janë të disponueshme si zgjedhje të klientit.

Specifikim

CS200

Lloji

CS200A

CS200C

CS200D

Gama e shkallës së plotë (N2)

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

Saktësia

±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS)

Lineariteti

±0,5% FS

Përsëritshmëria

±0.2% FS

Koha e përgjigjes

≤1 sek

≤0,8 sek (SEMI E17-0600)

Pozicioni i pushimit të valvulës

Normalisht i mbyllur ose

Pa valvul

Normalisht i mbyllur ose

Pa valvul

Normalisht i mbyllur ose

Pa valvul

Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm) Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm) Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm)

Presioni diferencial

0,05 ~ 0,35 MPa (Rrjedha≤10 slm)

0.02 MPa

(0,05 ~ 0,35) MPa (≤ 10 slm)

0.02 MPa

(0,05 ~ 0,35) MPa (≤ 10 slm)

0.02 MPa

0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm <Rrjedha ≤ 30 slm)

(0,1-0,35) MPa ((>10 slm)

(0,1-0,35) MPa ((>10 slm)

0,2 ~ 0,45 MPa (Rrjedha > 30 slm)

Presioni maksimal i funksionimit

0.45 MPa

Temperatura

Zero:≤±0.05% FS/℃;

Zero:≤±0.02% FS/℃;Hapësira:≤±0,05% FS/℃

Koeficient

Hapësira: ≤±0,1% FS/℃(Rrjedha≤30slm)

Hapësira: ≤±0,2% FS/℃(Rrjedha> 30 slm)

Presioni i provës

3 MPa (435 pisg)

Zero Drift

0.6%FS në vit pa autozero

Rrjedhje e integritetit

1×10-9 atm·cc / sek Ai

1×10-10atm·cc / sek Ai

Materialet e lagura

Viton;

Metal? (çelik inox V/V, 5Ra)

Metal

Kimi sipërfaqësore

---

raporti Cr/Fe >2.0;Trashësia CrO >20 Angstroms

Përfundojë sipërfaqe

25 Ra

10 Ra

25 Ra

Temperatura e funksionimit

(5~45)℃

(0,50)℃

Sinjali i hyrjes

Dixhital: RS485 ose ProfiBus

N/A

Dixhital: RS485 ose ProfiBus ose DeviceNetTM

N/A

Digital: RS485 ose ProfiBus ose DeviceNetTM

N/A

ose DeviceNetTM

Analoge: (0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA

Analoge:(0~5)VDC ose (4~20)mA?ose (0~20)mA

Analoge: (0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA

Sinjali i daljes

Dixhital: RS485 ose DeviceNetTM ose ProfiBus Analog:(0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA

Furnizimi me energji elektrike

±8 ~ ± 16 VDC ose +14 ~ +28 VDC (400 mA)

Lidhës Elektronik

Nën-D mashkull me 9 pin, nën-D mashkull 15 pin ,DeviceNetTM,ProfiBus, analog

Pajisjet

VCR1/4” M; VCO1/4” M;

VCR1/4” M;

Montimi i ngjeshjesΦ10; Montimi i kompresimitΦ6;

Montimi i kompresimitΦ6,

Montimi me ngjeshje 3/8”;Montimi i kompresimit 1/4”;

Montimi i kompresimitΦ3,

Montimi i kompresimit 1/8”;Montimi i kompresimitΦ3;

Montimi i kompresimit 1/4”;

Ф6 (të brendshme)×1 zorrë;ф5 (të brendshme)×1.5 zorrë;ф4 (të brendshme)×1 zorrë;

W-vula,

A-sael ;

C-vula

Pesha

1 kg

0.8 kg

1.2 kg

1 kg

1.2 kg

1 kg

 

 

 

 

dajsdnj

  • E mëparshme:
  • Tjetër:

  • Shkruani mesazhin tuaj këtu dhe na dërgoni