માસ ફ્લો કંટ્રોલર માસ ફ્લો મીટર CS200
વિશેષતા
1. ઉચ્ચ ચોકસાઈ અને ઝડપી પ્રતિભાવ
CS200 MFC ની ચોકસાઈને SP ના ±1.0% સુધી સુધારી દેવામાં આવી છે, અને સૌથી અદ્યતન મોડલનો પ્રતિભાવ સમય 0.8 સેકન્ડ કરતા ઓછો છે.
2. લો ઝીરો ડ્રિફ્ટ અને તાપમાન ગુણાંક
નવી સેન્સર ટેક્નોલોજીની શોધ CS200 MFC ને સ્થિરતા જાળવવા અને તાપમાનની વધઘટનો સામનો કરવા સક્ષમ બનાવે છે.સ્વતઃ-શૂન્ય એમ્પ્લીફાયર વિના, અપેક્ષિત શૂન્ય ડ્રિફ્ટ 0.6%FS/વર્ષ કરતાં ઓછું છે, અને તાપમાન ગુણાંક 0.02%FS/℃(શૂન્ય)，0.05%FS/℃ (સ્પાન) કરતાં ઓછું છે.
3. મેટલ-સીલ્ડ મોડલ્સ અને ઉચ્ચ શુદ્ધતા વિશેષતા
CS200 MFC નો વેટેડ ફ્લો પાથ સપાટી-પેસિવેટેડ સ્ટેનલેસ સ્ટીલમાંથી બનાવવામાં આવ્યો છે.તમામ CS200 MFCs Sevenstar ના અલ્ટ્રાક્લીન ક્લાસ 100-ક્લાસ ક્લીનરૂમમાં SEMI અને ISO 9001 બંને ધોરણો અનુસાર એસેમ્બલ કરવામાં આવે છે.
4. સુસંગત ઈન્ટરફેસ
CS200 MFC નીચેના ઇન્ટરફેસ સાથે સુસંગત છે, જે ગ્રાહક દ્વારા પસંદ કરવામાં આવી શકે છે: ±8V-±16V ડબલ-એન્ડ પાવર સપ્લાય અને +14V-+28V સિંગલ-એન્ડ પાવર સપ્લાય;ડિજિટલ અથવા એનાલોગ સિગ્નલ ઇનપુટ અને આઉટપુટ;સેમી પ્રમાણભૂત યાંત્રિક પરિમાણો;અને RS-485 અથવા DeviceNet સંચાર મોડ્યુલ.
5. વિવિધ કાર્યો
પાવરફુલ ગ્રાહક સૉફ્ટવેર દરેક મૉડલ સાથે પ્રમાણભૂત આવે છે, જ્યારે મલ્ટિ-ગેસ，મલ્ટી-રેન્જ，ઑટો-ઝીરો, એલાર્મ્સ, સોફ્ટ સ્ટાર્ટ અને વિલંબ જેવા વધારાના કાર્યો ગ્રાહક પસંદગી તરીકે ઉપલબ્ધ છે.
સ્પષ્ટીકરણ
| CS200 | |||||||
| પ્રકાર | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| સંપૂર્ણ સ્કેલ શ્રેણી (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| ચોકસાઈ | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| રેખીયતા | ±0.5% FS | ||||||
| પુનરાવર્તિતતા | ±0.2% FS | ||||||
| પ્રતિભાવ સમય | ≤1 સેકન્ડ | ≤0.8 સેકન્ડ (SEMI E17-0600) | |||||
| વાલ્વ રેસ્ટ પોઝિશન | સામાન્ય રીતે બંધ અથવા | વાલ્વ નથી | સામાન્ય રીતે બંધ અથવા | વાલ્વ નથી | સામાન્ય રીતે બંધ અથવા | વાલ્વ નથી | |
| સામાન્ય રીતે ખુલ્લું (100 sccm≤FS≤5 slm）) | સામાન્ય રીતે ખુલ્લું (100 sccm≤FS≤5 slm）) | સામાન્ય રીતે ખુલ્લું (100 sccm≤FS≤5 slm）) | |||||
| વિભેદક દબાણ | 0.05～0.35MPa （ફ્લો≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （પ્રવાહ＞30slm） | |||||||
| મહત્તમ ઓપરેટિંગ દબાણ | 0.45MPa | |||||
| તાપમાન | શૂન્ય:≤±0.05% FS/℃; | શૂન્ય:≤±0.02% FS/℃;સ્પેન:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ગુણાંક | ગાળો: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| ગાળો: ≤±0.2% FS/℃（ફ્લો>30slm） | ||||||
| સાબિતી દબાણ | 3MPa (435pisg) | |||||
| ઝીરો ડ્રિફ્ટ | ＜ઑટોઝીરો વિના પ્રતિ વર્ષ 0.6%FS | |||||
| લીક અખંડિતતા | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc / સેકન્ડ He | ||||
| ભીની સામગ્રી | વિટોન; | મેટલ?(સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ V/V, 5Ra) | ધાતુ | |||
| સપાટી રસાયણશાસ્ત્ર | —— | Cr/F રેશિયો ＞2.0;CrO જાડાઈ ＞20 એંગસ્ટ્રોમ્સ | ||||
| સપાટી સમાપ્ત | 25 રા | 10Ra | 25 રા | |||
| ઓપરેશન તાપમાન | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| ઇનપુટ સિગ્નલ | ડિજિટલ: RS485 અથવા ProfiBus | N/A | ડિજિટલ: RS485 અથવા ProfiBus અથવા DeviceNetTM | N/A | ડિજિટલ: RS485 અથવા ProfiBus અથવા DeviceNetTM | N/A |
| અથવા DeviceNetTM | એનાલોગ:(0～5)VDC અથવા (4～20)mA અથવા (0～20)mA | એનાલોગ:(0～5)VDC અથવા (4～20)mA?અથવા (0～20)mA | |||||
| એનાલોગ:(0～5)VDC અથવા (4～20)mA અથવા (0～20)mA | |||||||
| આઉટપુટ સિગ્નલ | ડિજિટલ: RS485 અથવા DeviceNetTM અથવા ProfiBus એનાલોગ:(0～5)VDC અથવા (4～20)mA અથવા (0～20)mA | ||||||
| વીજ પુરવઠો | ±8 ~ ±16 VDC અથવા +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ઇલેક્ટ્રોનિક કનેક્ટર | 9 પિન પુરૂષ સબ-ડી ， 15 પિન પુરૂષ સબ-D ， ઉપકરણનેટટીએમ,પ્રોફીબસ, એનાલોગ | ||||||
| ફિટિંગ | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4”M; | |||||
| કમ્પ્રેશન ફિટિંગΦ10; કમ્પ્રેશન ફિટિંગΦ6； | કમ્પ્રેશન ફિટિંગΦ6, | ||||||
| કમ્પ્રેશન ફિટિંગ 3/8”;કમ્પ્રેશન ફિટિંગ 1/4”; | કમ્પ્રેશન ફિટિંગΦ3, | ||||||
| કમ્પ્રેશન ફિટિંગ 1/8”;કમ્પ્રેશન ફિટિંગΦ3; | કમ્પ્રેશન ફિટિંગ1/4”, | ||||||
| Ф6(આંતરિક)×1હોઝ;એફ5(આંતરિક)×1.5હોઝ;એફ4(આંતરિક)×1હોઝ; | ડબલ્યુ-સીલ, | ||||||
| એ-સેલ; | સી-સીલ | ||||||
| વજન | 1 કિ.ગ્રા | 0.8 કિગ્રા | 1.2 કિગ્રા | 1 કિ.ગ્રા | 1.2 કિગ્રા | 1 કિ.ગ્રા | |
