Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
លក្ខណៈពិសេស
1. ភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ និងការឆ្លើយតបរហ័ស
ភាពត្រឹមត្រូវនៃ CS200 MFC ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដល់±1.0% នៃ SP ហើយម៉ូដែលទំនើបបំផុតមានពេលវេលាឆ្លើយតបតិចជាង 0.8 វិ។
2. Low Zero Drift និងមេគុណសីតុណ្ហភាព
ការបង្កើតបច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាថ្មីអាចឱ្យ CS200 MFC រក្សាស្ថេរភាព និងទប់ទល់នឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព។បើគ្មានអំព្លីសូន្យស្វ័យប្រវត្តិទេ សូន្យដែលរំពឹងទុកគឺតិចជាង 0.6% FS/ឆ្នាំ ហើយមេគុណសីតុណ្ហភាពតិចជាង 0.02% FS/℃(សូន្យ) 0.05% FS/℃ (វិសាលភាព)។
3. ម៉ូដែលបិទជិតដោយលោហៈ និងលក្ខណៈពិសេសភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
ផ្លូវលំហូរសើមនៃបន្ទាត់ CS200 MFC ត្រូវបានសាងសង់ពីដែកអ៊ីណុកដែលឆ្លងកាត់ផ្ទៃ។CS200 MFCs ទាំងអស់ត្រូវបានប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងបន្ទប់សម្អាតថ្នាក់ ultraclean Class 100 របស់ Sevenstar ដោយអនុលោមតាមស្តង់ដារទាំង SEMI និង ISO 9001 ។
4. ចំណុចប្រទាក់ដែលត្រូវគ្នា។
CS200 MFC គឺត្រូវគ្នាជាមួយចំណុចប្រទាក់ខាងក្រោម ដែលអាចត្រូវបានជ្រើសរើសដោយអតិថិជន៖ ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលពីរជាន់ ±8V-±16V និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលតែមួយចុង +14V-+28V។ការបញ្ចូលនិងទិន្នផលសញ្ញាឌីជីថលឬអាណាឡូក;វិមាត្រមេកានិចស្តង់ដារ SEMI;និង RS-485 ឬម៉ូឌុលទំនាក់ទំនង DeviceNet ។
5. មុខងារផ្សេងៗ
កម្មវិធីអតិថិជនដ៏មានអានុភាពមានស្តង់ដារជាមួយម៉ូដែលនីមួយៗ ខណៈពេលដែលមុខងារបន្ថែមដូចជា ឧស្ម័នច្រើន ពហុជួរ សូន្យស្វ័យប្រវត្តិ សំឡេងរោទិ៍ ការចាប់ផ្តើមទន់ និងការពន្យាពេលមានជាជម្រើសរបស់អតិថិជន។
ការបញ្ជាក់
| CS200 | |||||||
| ប្រភេទ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| ជួរមាត្រដ្ឋានពេញ (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | ||||||
| ភាពត្រឹមត្រូវ | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| លីនេអ៊ែរ | ± 0.5% FS | ||||||
| ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត | ± 0.2% FS | ||||||
| ពេលវេលាឆ្លើយតប | ≤ 1 វិ | ≤0.8 វិនាទី (SEMI E17-0600) | |||||
| ទីតាំងសម្រាកវ៉ាល់ | ជាធម្មតាបិទឬ | គ្មានវ៉ាល់ | ជាធម្មតាបិទឬ | គ្មានវ៉ាល់ | ជាធម្មតាបិទឬ | គ្មានវ៉ាល់ | |
| បើកជាធម្មតា (100 sccm≤FS≤5 slm) | បើកជាធម្មតា (100 sccm≤FS≤5 slm) | បើកជាធម្មតា (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| សម្ពាធឌីផេរ៉ង់ស្យែល | 0.05 ~ 0.35MPa (លំហូរ≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05 ~ 0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05 ~ 0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0.1 ~ 0.35) MPa (＞10slm) | (0.1 ~ 0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2 ~ 0.45MPa (លំហូរ ~ 30slm) | |||||||
| សម្ពាធប្រតិបត្តិការអតិបរមា | 0.45MPa | |||||
| សីតុណ្ហភាព | សូន្យ៖ ≤± 0.05% FS/℃; | សូន្យ៖ ≤± 0.02% FS/℃;ចន្លោះ៖ ≤± 0.05% FS/℃ | ||||
| មេគុណ | វិសាលភាព៖ ≤± 0.1% FS/℃ (លំហូរ≤30slm) | |||||
| វិសាលភាព៖ ≤± 0.2% FS/℃ (លំហូរ> 30slm) | ||||||
| សម្ពាធភស្តុតាង | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0.6% FS ក្នុងមួយឆ្នាំដោយគ្មាន autozero | |||||
| ធ្លាយភាពសុចរិត | 1×10-9 atm·cc / វិ | 1×10-10atm·cc / វិ | ||||
| សម្ភារៈសើម | វីតុន; | ដែក?(ដែកអ៊ីណុក V/V, 5Ra) | លោហៈ | |||
| គីមីវិទ្យាផ្ទៃ | —— | សមាមាត្រ Cr/Fe ＞2.0;កម្រាស់ CrO 20 Angstroms | ||||
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | ២៥ រ៉ា | 10 រ៉ា | ២៥ រ៉ា | |||
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការ | (5 ~ 45 ℃ | (0 ~ 50 ℃ | ||||
| សញ្ញាបញ្ចូល | ឌីជីថល៖ RS485 ឬ ProfiBus | គ្មាន | ឌីជីថល៖ RS485 ឬ ProfiBus ឬ DeviceNetTM | គ្មាន | ឌីជីថល៖ RS485 ឬ ProfiBus ឬ DeviceNetTM | គ្មាន |
| ឬ DeviceNetTM | អាណាឡូក៖ (0～5)VDC ឬ (4～20)mA ឬ (0～20)mA | អាណាឡូក៖ (0～5)VDC ឬ (4～20)mA ឬ (0～20)mA | |||||
| អាណាឡូក៖ (0～5)VDC ឬ (4～20)mA ឬ (0～20)mA | |||||||
| សញ្ញាទិន្នផល | ឌីជីថល៖ RS485 ឬ DeviceNetTM ឬ ProfiBus អាណាឡូក៖ (0～5)VDC ឬ (4～20)mA ឬ (0～20)mA | ||||||
| ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | ± 8 ~ ± 16 VDC ឬ +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| ឧបករណ៍ភ្ជាប់អេឡិចត្រូនិច | 9 pin ប្រុស sub-D, 15 pin male sub-D, DeviceNetTM,ProfiBus, អាណាឡូក | ||||||
| គ្រឿងបន្លាស់ | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| ឧបករណ៍បង្ហាប់Φ10; សមបង្ហាប់Φ6; | ឧបករណ៍បង្ហាប់Φ6, | ||||||
| ការបង្ហាប់សម 3/8";ការបង្ហាប់ 1/4"; | ឧបករណ៍បង្ហាប់Φ3, | ||||||
| ការបង្ហាប់បង្ហាប់ 1/8 ";ឧបករណ៍បង្ហាប់Φ3; | ឧបករណ៍បង្ហាប់ 1/4 ", | ||||||
| Ф6 (ខាងក្នុង) × 1 ទុយោ; ф5 (ខាងក្នុង) × 1.5 ទុយោ; ф4 (ខាងក្នុង) × 1 ទុយោ; | W-seal, | ||||||
| អា-សាអែល; | គ-ត្រា | ||||||
| ទម្ងន់ | 1 គីឡូក្រាម | ០,៨ គីឡូក្រាម | 1.2 គីឡូក្រាម | 1 គីឡូក្រាម | 1.2 គីឡូក្រាម | 1 គីឡូក្រាម | |
