Controller Mass Flow Mass Flow Meter CS200
Features
1. Rastiya Bilind û Bersiva Bilez
Rastiya CS200 MFC ji% ± 1.0% SP-ê çêtir bûye, û modelên herî pêşkeftî xwedan demek bersivê ya kêmtir ji 0.8 saniyeyê ne.
2. Kêm Zero Drift û Germahiya Germiya
Dahênana teknolojiya senzorê ya nû dihêle ku CS200 MFC aramiyê biparêze û li hember guheztinên germahiyê bisekinin.Bêyî amplifikatorek oto-sifir, sifira sifirê ya bendewar ji 0,6%FS/sal kêmtir e, û rêjeya germahiyê ji 0,02%FS/℃(sifir),0,05%FS/℃ (span) kêmtir e.
3. Modelên Metal-Sealed û Taybetmendiya Paqijiya Bilind
Rêya herikîna şilkirî ya rêza CS200 MFC ji polayê zengarnegir-pasîvkirî yê rûvî hatî çêkirin.Hemî CS200 MFC li odeyên paqij ên pola 100-pola ultrapaqij ya Sevenstar li gorî standardên SEMI û ISO 9001 têne berhev kirin.
4. Navrûyên hevgirtî
CS200 MFC bi navgînên jêrîn re hevaheng e, ku dibe ku ji hêla xerîdar ve were hilbijartin: ± 8V-± 16V dabînkirina hêzê ya du-dawî û +14V-+28V dabînkirina hêzê ya yek-dawî;ketina û derketina sînyala dîjîtal an analog;Pîvanên mekanîkî yên standard SEMI;û RS-485 an module ragihandinê ya DeviceNet.
5. Fonksiyonên Miscellaneous
Nermalava xerîdar a hêzdar bi her modelê re standard tê, dema ku fonksiyonên zêde yên wekî pir-gaz, pir-range, oto-sifir, alarm, destpêka nerm, û dereng wekî vebijarkên xerîdar hene.
Specification
| CS200 | |||||||
| Awa | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Rêjeya pîvana tevahî (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Tamî | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearity | ± 0,5% FS | ||||||
| Repeatability | ± 0,2% FS | ||||||
| Dema bersivê | ≤1sec | ≤0,8 sec (SEMI E17-0600) | |||||
| Helwesta Rest Valve | Bi gelemperî Girtî an | Valve tune | Bi gelemperî Girtî an | Valve tune | Bi gelemperî Girtî an | Valve tune | |
| Bi gelemperî vekirî (100 sccm≤FS≤5 slm) | Bi gelemperî vekirî (100 sccm≤FS≤5 slm) | Bi gelemperî vekirî (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Zexta Cûdahî | 0,05 ～ 0,35 MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2 ～ 0.45 MPa （Flow＞30slm） | |||||||
| Zexta xebitandinê ya herî zêde | 0.45MPa | |||||
| Germî | Zero:≤±0.05% FS/℃; | Zero:≤±0.02% FS/℃;Span:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Coefficient | Span: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃ (Flow>30slm) | ||||||
| Proof Pressure | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜Salê 0,6% FS bêyî otozero | |||||
| Yekitiya leak | 1×10-9 atm·cc / sec Ew | 1×10-10atm·cc / sec Ew | ||||
| Materyalên şilkirî | Viton; | Metal? (Pola zengarnegir V/V, 5Ra) | Hesinî | |||
| Kîmya Rûyê | —- | Rêjeya Kr/Fê ＞2.0;Qalindahiya CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Dawiya Rûyê | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Germahiya Operasyonê | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Input Signal | Dîjîtal: RS485 an ProfiBus | N/A | Dîjîtal: RS485 an ProfiBus an DeviceNetTM | N/A | Dîjîtal: RS485 an ProfiBus an DeviceNetTM | N/A |
| an DeviceNetTM | Analog: (0～5)VDC an (4～20)mA an (0～20)mA | Analog: (0～5)VDC an (4～20)mA?an (0～20)mA | |||||
| Analog: (0～5)VDC an (4～20)mA an (0～20)mA | |||||||
| Sînyala Derketinê | Dîjîtal: RS485 an DeviceNetTM an ProfiBus Analog: (0～5)VDC an (4～20)mA an (0～20)mA | ||||||
| Navê min | ±8 ~ ± 16 VDC an +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Connector Electronic | 9 pin male sub-D , 15 pin male sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Analog | ||||||
| Fittings | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| FittingF10;Fitting CompressionΦ6； | FittingF6 Compression, | ||||||
| Compression Fitting 3/8";Pêkhatina Kompresyonê 1/4"; | FittingF3, | ||||||
| Pêkhatina Pêvekirinê 1/8";Compression FittingΦ3; | Pêkhatina Kompresyonê 1/4", | ||||||
| Ф6 (hundir)×1 çeleng; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | C-seal | ||||||
| Pîvan | 1kg | 0.8 kg | 1.2 kg | 1kg | 1.2 kg | 1kg | |
