Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

CS200 MFCs ທີ່ມີເຊັນເຊີຂັ້ນສູງແລະເທກໂນໂລຍີການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມສາມາດບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງ ± 1% SP ແລະຄ່າສໍາປະສິດອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.ນອກຈາກນັ້ນ, CS200 MFCs ກັບລະບົບການຄວບຄຸມຂັ້ນສູງໂດຍສະເລ່ຍແມ່ນເວລາຕອບສະຫນອງ 800ms ສໍາລັບການປ່ຽນແປງຈຸດທີ່ກໍານົດໄວ້ທັງຫມົດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດຂອງລະບົບໃດໆໃນຂະບວນການ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ຄຸນລັກສະນະ

1. ຄວາມຖືກຕ້ອງສູງແລະການຕອບສະຫນອງໄວ

ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ CS200 MFC ໄດ້ຖືກປັບປຸງເປັນ ±1.0% ຂອງ SP, ແລະຮູບແບບທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ສຸດມີເວລາຕອບສະຫນອງຫນ້ອຍກວ່າ 0.8 ວິນາທີ.

2. ຄວາມໄວການລອຍລົມຕໍ່າ ແລະຄ່າສໍາປະສິດອຸນຫະພູມ

ການປະດິດເຕັກໂນໂລຊີເຊັນເຊີໃຫມ່ເຮັດໃຫ້ CS200 MFC ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ.ຖ້າບໍ່ມີເຄື່ອງຂະຫຍາຍສຽງອັດຕະໂນມັດ, ສູນການລອຍລົມທີ່ຄາດວ່າຈະມີໜ້ອຍກວ່າ 0.6% FS/ປີ, ແລະຄ່າສໍາປະສິດອຸນຫະພູມຕໍ່າກວ່າ 0.02% FS/℃(ສູນ), 0.05% FS/℃ (span).

3. ຮູບແບບທີ່ຜະນຶກດ້ວຍໂລຫະແລະຄຸນສົມບັດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ເສັ້ນທາງໄຫຼ wetted ຂອງ-the-the-line CS200 MFC ແມ່ນການກໍ່ສ້າງຈາກສະແຕນເລດທີ່ passivated ດ້ານ.CS200 MFCs ທັງໝົດແມ່ນໄດ້ຖືກປະກອບຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດລະດັບ 100 ຊັ້ນ ultraclean ຂອງ Sevenstar ຕາມມາດຕະຖານທັງ SEMI ແລະ ISO 9001.

4. ການໂຕ້ຕອບທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້

CS200 MFC ແມ່ນເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການໂຕ້ຕອບຕໍ່ໄປນີ້, ເຊິ່ງລູກຄ້າອາດຈະເລືອກ: ± 8V-± 16V double-end ການສະຫນອງພະລັງງານແລະ +14V-+28V ການສະຫນອງພະລັງງານດຽວ end;ສັນຍານດິຈິຕອລ ຫຼື ອະນາລັອກອິນພຸດ ແລະ ຜົນຜະລິດ;ຂະຫນາດກົນຈັກມາດຕະຖານ SEMI;ແລະໂມດູນການສື່ສານ RS-485 ຫຼື DeviceNet.

5. ຫນ້າທີ່ອື່ນໆ

ຊອບແວລູກຄ້າທີ່ມີປະສິດທິພາບມາມາດຕະຖານກັບແຕ່ລະຕົວແບບ, ໃນຂະນະທີ່ຟັງຊັນເພີ່ມເຕີມເຊັ່ນ: ອາຍແກັສຫຼາຍ, ຫຼາຍລະດັບ, ອັດຕະໂນມັດສູນ, ໂມງປຸກ, ການເລີ່ມຕົ້ນອ່ອນ, ແລະການຊັກຊ້າແມ່ນມີຢູ່ໃນການເລືອກຂອງລູກຄ້າ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ

	CS200
ປະເພດ	CS200A		CS200C			CS200D
ຂອບເຂດຂະໜາດເຕັມ (N2)	( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM		( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
	( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM		( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
ຄວາມຖືກຕ້ອງ	±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS)
ເສັ້ນຊື່	±0.5% FS
ການເຮັດຊ້ຳ	±0.2% FS
ເວລາຕອບສະຫນອງ	≤1ວິນາທີ		≤0.8 ວິ (SEMI E17-0600)
Valve Rest position	ປິດປົກກະຕິຫຼື	ບໍ່ມີວາວ	ປິດປົກກະຕິຫຼື	ບໍ່ມີວາວ	ປິດປົກກະຕິຫຼື		ບໍ່ມີວາວ
	ເປີດປົກກະຕິ (100 sccm≤FS≤5 slm)		ເປີດປົກກະຕິ (100 sccm≤FS≤5 slm)		ເປີດປົກກະຕິ (100 sccm≤FS≤5 slm)
ຄວາມກົດດັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ	0.05～0.35MPa (Flow≤10slm)	＜0.02MPa	(0.05～0.35) MPa (≤10slm)	＜0.02MPa	(0.05～0.35) MPa (≤10slm)		＜0.02MPa
	0.1～0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm)		(0.1～0.35) MPa (＞10slm)		(0.1～0.35) MPa (＞10slm)
	0.2～0.45MPa (Flow＞30slm)

ຄວາມກົດດັນປະຕິບັດງານສູງສຸດ	0.45MPa
ອຸນຫະພູມ	ສູນ:≤±0.05% FS/℃;		ສູນ:≤±0.02% FS/℃;ໄລຍະ: ≤± 0.05% FS/℃
ຄ່າສໍາປະສິດ	ໄລຍະ: ≤±0.1% FS/℃ (Flow≤30slm)
	ໄລຍະ: ≤±0.2% FS/℃ (Flow>30slm)
ຫຼັກຖານສະແດງຄວາມກົດດັນ	3MPa (435pisg)
Zero Drift	＜0.6%FS ຕໍ່ປີໂດຍບໍ່ມີສູນອັດຕະໂນມັດ
ຄວາມສົມບູນຮົ່ວໄຫຼ	1×10-9 atm·cc / ວິນາທີ He		1×10-10atm·cc / ວິນາທີ He
ວັດສະດຸປຽກ	Viton;		ໂລຫະ?(ສະແຕນເລດ V/V, 5Ra)		ໂລຫະ
ເຄມີພື້ນຜິວ	——		ອັດຕາສ່ວນ Cr/Fe ＞2.0;ຄວາມຫນາ CrO 20 Angstroms
ສໍາເລັດຮູບ	25 ຣາ		10 ຣາ		25 ຣາ
ອຸນຫະພູມການດໍາເນີນງານ	(5～45)℃		(0～50)℃
ສັນຍານເຂົ້າ	ດິຈິຕອລ: RS485 ຫຼື ProfiBus	ບໍ່ມີ	ດິຈິຕອລ: RS485 ຫຼື ProfiBus ຫຼື DeviceNetTM	ບໍ່ມີ	ດິຈິຕອລ: RS485 ຫຼື ProfiBus ຫຼື DeviceNetTM	ບໍ່ມີ

	ຫຼື DeviceNetTM		ອະນາລັອກ: (0～5)VDC ຫຼື (4～20)mA ຫຼື (0～20)mA		ອະນາລັອກ: (0～5)VDC ຫຼື (4～20)mA?ຫຼື (0～20)mA
	ອະນາລັອກ: (0～5)VDC ຫຼື (4～20)mA ຫຼື (0～20)mA
ສັນຍານອອກ	ດິຈິຕອລ: RS485 ຫຼື DeviceNetTM ຫຼື ProfiBus Analog: (0～5)VDC ຫຼື (4～20)mA ຫຼື (0～20)mA
ການສະຫນອງພະລັງງານ	±8 ~ ±16 VDC ຫຼື +14 ~ +28 VDC (400mA)
ຕົວເຊື່ອມຕໍ່ອີເລັກໂທຣນິກ	9 pin ເພດຊາຍຍ່ອຍ-D ，15 pin ຍ່ອຍຊາຍ D，DeviceNetTM,ProfiBus, ອະນາລັອກ
ອຸປະກອນເສີມ	VCR1/4” M； VCO1/4” M；		VCR1/4” M;
	Fitting ການບີບອັດΦ10; Fitting ການບີບອັດΦ6;		Compression FittingΦ6,
	Compression Fitting 3/8”;ການບີບອັດ 1/4";		Compression FittingΦ3,
	ການບີບອັດ 1/8";Fitting ການບີບອັດΦ3;		ການບີບອັດ 1/4",
	Ф6(ພາຍໃນ) × 1 hose; ф5(ພາຍໃນ) × 1.5 hose; ф4(ພາຍໃນ) × 1 hose;		W-seal,
	A-sael ;		C-ປະທັບຕາ
ນ້ຳໜັກ	1 ກິໂລ	0.8 ກິໂລ	1.2ກິໂລ	1 ກິໂລ	1.2ກິໂລ	1 ກິໂລ