Ласкаво просимо на наші сайти!

Контролер масової витрати Вимірювач масової витрати CS200

Короткий опис:

CS200 MFC з вдосконаленим датчиком і технологією температурної компенсації можуть досягати точності ±1% SP і низького температурного коефіцієнта.Крім того, MFC CS200 із вдосконаленою системою керування мають середній час відгуку 800 мс для всіх змін заданих значень, мінімізуючи будь-які системні помилки в процесі.


Деталі продукту

Теги товарів

особливості

1. Висока точність і швидка реакція

Точність CS200 MFC була підвищена до ±1,0% від SP, а найдосконаліші моделі мають зменшений час відгуку менше 0,8 с.

2. Низький дрейф нуля та температурний коефіцієнт

Винахід нової сенсорної технології дозволяє CS200 MFC підтримувати стабільність і витримувати температурні коливання.Без підсилювача автоматичного встановлення нуля очікуваний дрейф нуля становить менше 0,6% повної шкали/рік, а температурний коефіцієнт менше 0,02% повної шкали/℃ (нуль), 0,05% повної шкали/℃ (інтервал).

3. Моделі з металевим ущільненням і функція високої чистоти

Зволожений шлях потоку серії CS200 MFC виготовлено з пасивованої поверхні нержавіючої сталі.Усі МФЦ CS200 збираються в ультрачистих чистих приміщеннях класу 100 Sevenstar відповідно до стандартів SEMI та ISO 9001.

4. Сумісні інтерфейси

CS200 MFC сумісний з наступними інтерфейсами, які можуть бути обрані замовником: ±8V-±16V двостороннє джерело живлення та +14V-+28V одностороннє джерело живлення;вхід і вихід цифрового або аналогового сигналу;Стандартні механічні розміри SEMI;і комунікаційний модуль RS-485 або DeviceNet.

5. Різні функції

Потужне програмне забезпечення для користувача постачається в стандартній комплектації з кожною моделлю, тоді як додаткові функції, такі як багатогазові, багатодіапазонні, автоматичне обнулення, сигналізація, плавний пуск і затримка доступні на вибір клієнта.

Специфікація

CS200

Тип

CS200A

CS200C

CS200D

Повний діапазон (N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

Точність

±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS)

Лінійність

±0,5% FS

Повторюваність

±0,2% FS

Час реакції

≤1 сек

≤0,8 с (SEMI E17-0600)

Позиція спокою клапана

Нормально закритий або

Немає клапана

Нормально закритий або

Немає клапана

Нормально закритий або

Немає клапана

Нормально відкритий(100 sccm≤FS≤5 slm) Нормально відкритий(100 sccm≤FS≤5 slm) Нормально відкритий(100 sccm≤FS≤5 slm)

Перепад тиску

0,05 ~ 0,35 МПа (Потік≤10 slm)

0,02 МПа

(0,05~0,35) МПа(≤10slm)

0,02 МПа

(0,05~0,35) МПа(≤10slm)

0,02 МПа

0,1~0,35 МПа(10slm<Потік≤30slm)

(0,1~0,35) МПа(>10slm)

(0,1~0,35) МПа(>10slm)

0,2 ~ 0,45 МПа (Потік > 30 slm)

Максимальний робочий тиск

0,45 МПа

температура

Нуль: ≤±0,05% FS/℃;

Нуль: ≤±0,02% FS/℃;Діапазон: ≤±0,05% FS/℃

Коефіцієнт

Діапазон: ≤±0,1% FS/℃(Потік≤30slm)

Діапазон: ≤±0,2% FS/℃(Потік>30slm)

Доказовий тиск

3 МПа (435 psig)

Нульовий дрейф

0,6%FS на рік без автообнулення

Витік цілісності

1×10-9 атм·куб.см / сек Ге

1×10-10 атм·куб.см / сек Не

Змочувані матеріали

Вітон;

Метал? (Нержавіюча сталь V/V, 5Ra)

метал

Хімія поверхні

——

Співвідношення Cr/Fe >2,0;Товщина CrO >20 ангстрем

Оздоблення поверхні

25Ra

10Ra

25Ra

Робоча температура

5~45)℃

0~50)℃

Вхідний сигнал

Цифровий: RS485 або ProfiBus

N/A

Цифровий: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM

N/A

Цифровий: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM

N/A

або DeviceNetTM

Аналоговий: (0~5)VDC або (4~20)mA або (0~20)mA

Аналоговий: (0~5)VDC або (4~20)mA?або (0~20)mA

Аналоговий: (0~5)VDC або (4~20)mA або (0~20)mA

Вихідний сигнал

Цифровий: RS485 або DeviceNetTM або ProfiBus Аналоговий: (0~5)VDC або (4~20)mA або (0~20)mA

Джерело живлення

±8 ~ ±16 В постійного струму або +14 ~ +28 В постійного струму (400 мА)

Електронний роз'єм

9-контактний штекер Sub-D , 15-контактний штекер Sub-D ,DeviceNetTMProfiBus, аналоговий

Фурнітура

VCR1/4” M; VCO1/4” M;

відеомагнітофон 1/4” M;

Компресійний фітинг Φ10; компресійний фітинг Φ6;

Компресійний фітинг Φ6,

Компресійний фітинг 3/8”;Компресійний фітинг 1/4”;

Компресійний фітингΦ3,

Компресійний фітинг 1/8”;Компресійний фітинг Φ3;

Компресійний фітинг 1/4”,

Ф6(внутр.)×1шланг;ф5(внутр.)×1,5шланг;ф4(внутр.)×1шланг;

W-ущільнення,

A-sael ;

С-ущільнення

вага

1 кг

0,8 кг

1,2 кг

1 кг

1,2 кг

1 кг

 

 

 

 

dajsdnj

  • Попередній:
  • далі:

  • Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам