Masas plūsmas regulators Masas plūsmas mērītājs CS200
Iespējas
1. Augsta precizitāte un ātra reakcija
CS200 MFC precizitāte ir uzlabota līdz ±1,0% no SP, un vismodernākajiem modeļiem ir samazināts reakcijas laiks, kas ir mazāks par 0,8 sekundēm.
2. Zems nulles novirzes un temperatūras koeficients
Jaunas sensoru tehnoloģijas izgudrojums ļauj CS200 MFC saglabāt stabilitāti un izturēt temperatūras svārstības.Bez automātiskās nulles pastiprinātāja paredzamā nulles novirze ir mazāka par 0,6% FS/gadā, un temperatūras koeficients ir mazāks par 0,02% FS/℃ (nulle) ， 0,05% FS/ ℃ (span).
3. Metāliski noslēgti modeļi un augstas tīrības funkcija
CS200 MFC slapjš plūsmas ceļš ir izgatavots no nerūsējošā tērauda, kas ir pasivēts ar virsmu.Visi CS200 MFC ir montēti Sevenstar īpaši tīrajās 100. klases tīrajās telpās atbilstoši gan SEMI, gan ISO 9001 standartiem.
4. Saderīgas saskarnes
CS200 MFC ir savietojams ar sekojošām saskarnēm, kuras var izvēlēties klients: ±8V-±16V divu galu barošanas avots un +14V-+28V viena gala barošanas avots;digitālā vai analogā signāla ievade un izvade;SEMI standarta mehāniskie izmēri;un RS-485 vai DeviceNet sakaru modulis.
5. Dažādas funkcijas
Jaudīga klientu programmatūra ir iekļauta katra modeļa standartā, savukārt papildu funkcijas, piemēram, vairāku gāzu, vairāku diapazonu, automātiskā nulles, trauksmes, mīkstās palaišanas un aizkaves ir pieejamas pēc klienta izvēles.
Specifikācija
| CS200 | |||||||
| Tips | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Pilna mēroga diapazons (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precizitāte | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Linearitāte | ±0,5% FS | ||||||
| Atkārtojamība | ±0,2% FS | ||||||
| Reakcijas laiks | ≤1 sek | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Vārsta atpūtas pozīcija | Parasti Slēgts vai | Nav vārsta | Parasti Slēgts vai | Nav vārsta | Parasti Slēgts vai | Nav vārsta | |
| Parasti atvērts (100 sccm≤FS≤5 slm) | Parasti atvērts (100 sccm≤FS≤5 slm) | Parasti atvērts (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Diferenciālais spiediens | 0,05～0,35 MPa (plūsma≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa (10 slm, plūsma ≤ 30 slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0,2～0,45 MPa (plūsma＞30slm) | |||||||
| Maksimālais darba spiediens | 0,45 MPa | |||||
| Temperatūra | Nulle:≤±0,05% FS/℃; | Nulle:≤±0,02% FS/℃;Spin:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficients | Laitrums: ≤±0,1% FS/℃ (plūsma≤30slm) | |||||
| Laitrums: ≤±0,2% FS/℃ (plūsma>30 slm) | ||||||
| Pierādīt spiedienu | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6%FS gadā bez automātiskās nulles | |||||
| Noplūdes integritāte | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Mitrināti materiāli | Vitons; | Metāls? (Nerūsējošais tērauds V/V, 5Ra) | Metāls | |||
| Virsmas ķīmija | —— | Cr/Fe attiecība ＞2,0;CrO biezums ＞20 angstromi | ||||
| Virsmas apdare | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Darbības temperatūra | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Ievades signāls | Digitālais: RS485 vai ProfiBus | N/A | Digitālais: RS485 vai ProfiBus vai DeviceNetTM | N/A | Digitālais: RS485 vai ProfiBus vai DeviceNetTM | N/A |
| vai DeviceNetTM | Analogs: (0～5)VDC vai (4～20)mA vai (0～20)mA | Analogs: (0～5)VDC vai (4～20)mA?vai (0～20)mA | |||||
| Analogs: (0～5)VDC vai (4～20)mA vai (0～20)mA | |||||||
| Izejas signāls | Digitālais: RS485 vai DeviceNetTM vai ProfiBus analogais: (0～5)VDC vai (4～20)mA vai (0～20)mA | ||||||
| Enerģijas padeve | ±8 ~ ±16 VDC vai +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektroniskais savienotājs | 9 kontaktu vīrišķais D apakšpunkts, 15 kontaktu vīrišķais apakšējais D ，DeviceNetTM，ProfiBus, analogais | ||||||
| Armatūra | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompresijas armatūraΦ10; Kompresijas armatūraΦ6； | Kompresijas armatūraΦ6, | ||||||
| Kompresijas stiprinājums 3/8”;Kompresijas armatūra 1/4”； | Kompresijas armatūraΦ3, | ||||||
| Kompresijas stiprinājums1/8”;Kompresijas armatūraΦ3； | Kompresijas armatūra 1/4" | ||||||
| Ф6 (iekšējā) × 1 šļūtene;ф5 (iekšējā) × 1,5 šļūtene;ф4 (iekšējā) × 1 šļūtene; | W-zīmogs, | ||||||
| A-sael ; | C veida blīvējums | ||||||
| Svars | 1kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1kg | 1,2 kg | 1kg | |
