Bộ điều khiển lưu lượng khối Máy đo lưu lượng khối CS200
Đặc trưng
1. Độ chính xác cao và phản hồi nhanh
Độ chính xác của CS200 MFC đã được cải thiện lên ±1,0% SP và các mẫu tiên tiến nhất có thời gian phản hồi giảm xuống dưới 0,8 giây.
2. Hệ số nhiệt độ và độ trôi bằng 0 thấp
Việc phát minh ra công nghệ cảm biến mới giúp CS200 MFC duy trì sự ổn định và chịu được sự biến động nhiệt độ.Nếu không có bộ khuếch đại tự động về 0, độ lệch 0 dự kiến sẽ nhỏ hơn 0,6%FS/năm và hệ số nhiệt độ nhỏ hơn 0,02%FS/oC(không),0,05%FS/ oC (nhịp).
3. Model được bọc kim loại và tính năng có độ tinh khiết cao
Đường dẫn dòng chảy ướt của CS200 MFC trên dây chuyền được làm từ thép không gỉ thụ động bề mặt.Tất cả MFC CS200 đều được lắp ráp trong phòng sạch cấp 100 siêu sạch của Sevenstar theo cả tiêu chuẩn SEMI và ISO 9001.
4. Giao diện tương thích
CS200 MFC tương thích với các giao diện sau mà khách hàng có thể lựa chọn: nguồn điện hai đầu ±8V-±16V và nguồn điện một đầu +14V-+28V;đầu vào và đầu ra tín hiệu số hoặc analog;Kích thước cơ học tiêu chuẩn SEMI;và mô-đun truyền thông RS-485 hoặc DeviceNet.
5. Chức năng khác
Phần mềm khách hàng mạnh mẽ được trang bị tiêu chuẩn cho từng model, trong khi các chức năng bổ sung như nhiều loại khí, nhiều phạm vi, tự động về 0, báo động, khởi động mềm và độ trễ có sẵn theo lựa chọn của khách hàng.
Sự chỉ rõ
| CS200 | |||||||
| Kiểu | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Phạm vi toàn thang đo (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Sự chính xác | ±1,0% SP ( ≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| tuyến tính | ±0,5% FS | ||||||
| Độ lặp lại | ±0,2% FS | ||||||
| Thời gian đáp ứng | 1 giây | .80,8 giây (SEMI E17-0600) | |||||
| Vị trí tựa van | Thường đóng hoặc | Không có van | Thường đóng hoặc | Không có van | Thường đóng hoặc | Không có van | |
| Thường mở（100 sccm≤FS≤5 slm） | Thường mở（100 sccm≤FS≤5 slm） | Thường mở（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Áp suất chênh lệch | 0,05～0,35MPa （Lưu lượng 10slm） | ＜0,02MPa | (0,05 ～ 0,35) MPa （10slm | ＜0,02MPa | (0,05 ～ 0,35) MPa （10slm | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Lưu lượng<30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Lưu lượng＞30slm） | |||||||
| Áp suất vận hành tối đa | 0,45MPa | |||||
| Nhiệt độ | Không: ≤ ± 0,05% FS/oC; | Không: ≤ ± 0,02% FS/oC;Khoảng cách: ≤ ± 0,05% FS / oC | ||||
| hệ số | Khoảng cách: （±0,1% FS/oC（Lưu lượng<30slm） | |||||
| Khoảng cách: ≤ ± 0,2% FS/oC (Lưu lượng> 30slm) | ||||||
| Sức ép bằng chứng | 3MPa (435pisg) | |||||
| Không trôi | ＜0,6%FS mỗi năm không có autozero | |||||
| Rò rỉ tính toàn vẹn | 1×10-9 atm·cc / giây Anh | 1×10-10atm·cc/giây Anh | ||||
| Vật liệu ướt | Viton; | Kim loại?(Thép không gỉ V/V, 5Ra) | Kim loại | |||
| Hóa học bề mặt | —— | Tỷ lệ Cr/Fe ＞2,0;Độ dày CrO ＞20 Angstrom | ||||
| Hoàn thiện bề mặt | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Nhiệt độ hoạt động | （5～45)oC | （0～50)oC | ||||
| Tín hiệu đầu vào | Kỹ thuật số: RS485 hoặc ProfiBus | không áp dụng | Kỹ thuật số: RS485 hoặc ProfiBus hoặc DeviceNetTM | không áp dụng | Kỹ thuật số:RS485 hoặc ProfiBus hoặc DeviceNetTM | không áp dụng |
| hoặc DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC hoặc (4～20)mA hoặc (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC hoặc (4～20)mA?hoặc (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC hoặc (4～20)mA hoặc (0～20)mA | |||||||
| Tín hiệu đầu ra | Kỹ thuật số: RS485 hoặc DeviceNetTM hoặc ProfiBus Analog:(0～5)VDC hoặc (4～20)mA hoặc (0～20)mA | ||||||
| Nguồn cấp | ±8 ~ ±16 VDC hoặc +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Đầu nối điện tử | 9 chân nam phụ D, 15 chân nam phụ D, DeviceNetTM,ProfiBus, Analog | ||||||
| phụ kiện | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Lắp nénΦ10; Lắp nénΦ6; | Lắp nénΦ6, | ||||||
| Lắp nén 3/8”;Lắp nén1/4”； | Lắp nénΦ3, | ||||||
| Lắp nén1/8”;Lắp nénΦ3； | Lắp nén 1/4”, | ||||||
| Ф6(bên trong)×1hose;ф5(bên trong)×1,5hose;ф4(bên trong)×1hose; | Con dấu chữ W, | ||||||
| A-sael ; | Con dấu chữ C | ||||||
| Cân nặng | 1 kg | 0,8kg | 1,2kg | 1 kg | 1,2kg | 1 kg | |
