Controlador de flujo másico Medidor de flujo másico CS200
Características
1. Alta precisión y respuesta rápida
La precisión del CS200 MFC se ha mejorado a ±1,0% de SP y los modelos más avanzados tienen un tiempo de respuesta reducido de menos de 0,8 segundos.
2. Baja deriva cero y coeficiente de temperatura
La invención de una nueva tecnología de sensores permite que el CS200 MFC mantenga la estabilidad y resista las fluctuaciones de temperatura.Sin un amplificador de cero automático, la desviación del cero esperada es inferior al 0,6 % FS/año y el coeficiente de temperatura es inferior al 0,02 % FS/℃ (cero), 0,05 % FS/ ℃ (span).
3. Modelos sellados con metal y característica de alta pureza
La ruta de flujo húmedo de la línea CS200 MFC está construida con acero inoxidable pasivado en la superficie.Todos los MFC CS200 se ensamblan en las salas blancas ultralimpias Clase 100 de Sevenstar de acuerdo con las normas SEMI e ISO 9001.
4. Interfaces compatibles
El CS200 MFC es compatible con las siguientes interfaces, que pueden ser seleccionadas por el cliente: fuente de alimentación de doble extremo ±8V-±16V y fuente de alimentación de extremo único +14V-+28V;entrada y salida de señal digital o analógica;Dimensiones mecánicas SEMI estándar;y módulo de comunicaciones RS-485 o DeviceNet.
5. Funciones diversas
Un potente software para el cliente viene de serie con cada modelo, mientras que funciones adicionales como multigas, multirango, cero automático, alarmas, arranque suave y retardo están disponibles como selecciones del cliente.
Especificación
| CS200 | |||||||
| Tipo | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Rango de escala completa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Exactitud | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Linealidad | ±0,5 % escala completa | ||||||
| Repetibilidad | ±0,2 % escala completa | ||||||
| Tiempo de respuesta | ≤1seg | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Posición de reposo de la válvula | Normalmente cerrado o | Sin válvula | Normalmente cerrado o | Sin válvula | Normalmente cerrado o | Sin válvula | |
| Normalmente abierto (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalmente abierto (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalmente abierto (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Presión diferencial | 0,05~0,35MPa (flujo≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1~0,35MPa（10slm＜Flujo≤30slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2~0,45MPa (flujo>30slm) | |||||||
| Presión máxima de funcionamiento | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Cero: ≤±0,05% FS/℃; | Cero: ≤±0,02% FS/℃;Alcance: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Coeficiente | Span: ≤±0.1% FS/℃（Flujo≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃（Flujo>30slm） | ||||||
| Presión de prueba | 3MPa (435pisg) | |||||
| Deriva cero | ＜0,6% FS por año sin autocero | |||||
| Integridad de la fuga | 1×10-9 atm·cc/seg He | 1×10-10atm·cc/seg Él | ||||
| Materiales húmedos | Vitón; | ¿Metal? (Acero inoxidable V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Química de superficies | —— | relación Cr/Fe >2,0;Espesor de CrO >20 Angstroms | ||||
| Acabado de la superficie | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| temperatura de operacion | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Señal de entrada | Digital: RS485 o ProfiBus | N / A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N / A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N / A |
| o DeviceNetTM | Analógico: (0~5)VCC o (4~20)mA o (0~20)mA | Analógico: (0~5)VCC o (4~20)mA? o (0~20)mA | |||||
| Analógico: (0~5)VCC o (4~20)mA o(0~20)mA | |||||||
| Señal de salida | Digital: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analógico: (0～5)VCC o (4～20)mA o (0～20)mA | ||||||
| Fuente de alimentación | ±8 ~ ±16 VCC o +14 ~ +28 VCC (400 mA) | ||||||
| Conector electrónico | Sub-D macho de 9 pines, Sub-D macho de 15 pines, DeviceNetTM，ProfiBus, analógico | ||||||
| Guarniciones | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4”M; | |||||
| Ajuste de compresiónΦ10; Ajuste de compresiónΦ6； | Ajuste de compresiónΦ6, | ||||||
| Accesorio de compresión 3/8”;Accesorio de compresión 1/4”; | Ajuste de compresiónΦ3, | ||||||
| Accesorio de compresión 1/8”;Ajuste de compresiónΦ3； | Accesorio de compresión de 1/4”, | ||||||
| Ф6(interior)×1manguera;ф5(interior)×1,5manguera;ф4(interior)×1manguera; | Sello W, | ||||||
| A-sael; | sello C | ||||||
| Peso | 1 kg | 0,8 kilos | 1,2 kilogramos | 1 kg | 1,2 kilogramos | 1 kg | |
