Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Funktioner
1. Hög noggrannhet och snabb respons
Noggrannheten hos CS200 MFC har förbättrats till ±1,0 % av SP, och de mest avancerade modellerna har en reducerad svarstid på mindre än 0,8 sek.
2. Låg nolldrift och temperaturkoefficient
Uppfinningen av ny sensorteknologi gör det möjligt för CS200 MFC att bibehålla stabilitet och motstå temperaturfluktuationer.Utan en auto-nollförstärkare är den förväntade nolldriften mindre än 0,6%FS/år, och temperaturkoefficienten är mindre än 0,02%FS/℃(noll)，0,05%FS/℃ (span).
3. Metalltätade modeller och hög renhetsfunktion
Den våta flödesvägen för CS200 MFC är konstruerad av ytpassiverat rostfritt stål.Alla CS200 MFC:er är monterade i Sevenstars ultrarena klass 100-klass renrum i enlighet med både SEMI och ISO 9001 standarder.
4. Kompatibla gränssnitt
CS200 MFC är kompatibel med följande gränssnitt, som kan väljas av kunden: ±8V-±16V dubbelsidig strömförsörjning och +14V-+28V enkeländsströmförsörjning;digital eller analog signalingång och -utgång;SEMI mekaniska standardmått;och RS-485 eller DeviceNet kommunikationsmodul.
5. Diverse funktioner
Kraftfull kundmjukvara levereras som standard med varje modell, medan ytterligare funktioner såsom multi-gas, multi-range, auto-noll, larm, mjukstart och fördröjning är tillgängliga som kundval.
Specifikation
| CS200 | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Fullskaleområde (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Noggrannhet | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(＜35 % FS) | ||||||
| Linjäritet | ±0,5 % FS | ||||||
| Repeterbarhet | ±0,2 % FS | ||||||
| Respons tid | ≤1 sek | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Ventilens viloläge | Normalt stängd eller | Ingen ventil | Normalt stängd eller | Ingen ventil | Normalt stängd eller | Ingen ventil | |
| Normalt öppen（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt öppen（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt öppen（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Olika tryck | 0,05 ~ 0,35 MPa （Flöde≤10 slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa（10slm＜Flöde≤30slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2–0,45 MPa (Flöde＞30 slm) | |||||||
| Maximalt drifttryck | 0,45 MPa | |||||
| Temperatur | Noll:≤±0,05% FS/℃; | Noll:≤±0,02% FS/℃;Spännvidd: ≤±0,05 % FS/℃ | ||||
| Koefficient | Spännvidd: ≤±0,1 % FS/℃（Flöde≤30slm） | |||||
| Spännvidd: ≤±0,2 % FS/℃（Flöde>30slm） | ||||||
| Bevistryck | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Noll drift | ＜0,6 %FS per år utan autonoll | |||||
| Läckintegritet | 1×10-9 atm·cc/sek He | 1×10-10atm·cc/sek He | ||||
| Vått material | Viton; | Metall? (Rostfritt stål V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Ytkemi | —— | Cr/Fe-förhållande ＞2,0;CrO-tjocklek ＞20 Ångström | ||||
| Ytfinish | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Drifttemperatur | (5–45）℃ | (0~50）℃ | ||||
| Ingångssignal | Digital: RS485 eller ProfiBus | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A |
| eller DeviceNetTM | Analog: (0~5)VDC eller (4~20)mA eller (0~20)mA | Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA?eller (0–20)mA | |||||
| Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA eller(0–20)mA | |||||||
| Utsignal | Digital: RS485 eller DeviceNetTM eller ProfiBus Analog:(0～5)VDC eller (4～20)mA eller (0～20)mA | ||||||
| Strömförsörjning | ±8 ~ ±16 VDC eller +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronisk kontakt | 9-stift hane sub-D ，15 stift hane sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus ，Analog | ||||||
| Beslag | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| KompressionsbeslagΦ10;KompressionsbeslagΦ6； | KompressionskopplingΦ6, | ||||||
| Kompressionskoppling 3/8”;Kompressionskoppling 1/4”; | KompressionskopplingΦ3, | ||||||
| Kompressionskoppling 1/8”;KompressionskopplingΦ3； | Kompressionskoppling 1/4”， | ||||||
| Ф6(inre)×1slang;ф5(inre)×1,5slang;ф4(inre)×1slang; | W-tätning, | ||||||
| A-sael ; | C-tätning | ||||||
| Vikt | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
