Krmilnik masnega pretoka Merilnik masnega pretoka CS200
Lastnosti
1. Visoka natančnost in hiter odziv
Natančnost CS200 MFC je bila izboljšana na ±1,0 % SP, najnaprednejši modeli pa imajo zmanjšan odzivni čas na manj kot 0,8 sekunde.
2. Nizek odmik ničelne točke in temperaturni koeficient
Izum nove senzorske tehnologije omogoča, da CS200 MFC ohranja stabilnost in vzdrži temperaturna nihanja.Brez ojačevalnika samodejne ničle je pričakovani premik ničle manjši od 0,6 %FS/leto, temperaturni koeficient pa je manjši od 0,02 %FS/℃ (nič), 0,05 %FS/℃ (razpon).
3. Modeli s kovinskim tesnilom in funkcija visoke čistosti
Mokra pretočna pot serije CS200 MFC je izdelana iz površinsko pasiviranega nerjavečega jekla.Vsi CS200 MFC so sestavljeni v Sevenstar-jevih ultračistih čistih prostorih razreda 100 v skladu s standardoma SEMI in ISO 9001.
4. Združljivi vmesniki
CS200 MFC je združljiv z naslednjimi vmesniki, ki jih lahko izbere stranka: ±8V-±16V dvojno napajanje in +14V-+28V enostransko napajanje;vhod in izhod digitalnega ali analognega signala;SEMI standardne mehanske mere;in komunikacijski modul RS-485 ali DeviceNet.
5. Razne funkcije
Zmogljiva programska oprema za stranke je standardno priložena vsakemu modelu, medtem ko so dodatne funkcije, kot so več plinov, več razponov, samodejna ničla, alarmi, mehak zagon in zakasnitev, na voljo po izbiri kupca.
Specifikacija
| CS200 | |||||||
| Vrsta | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Celoten obseg (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Natančnost | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (<35 % FS) | ||||||
| Linearnost | ±0,5 % FS | ||||||
| Ponovljivost | ±0,2 % FS | ||||||
| Odzivni čas | ≤1sek | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Položaj mirovanja ventila | Normalno zaprto oz | Brez ventila | Normalno zaprto oz | Brez ventila | Normalno zaprto oz | Brez ventila | |
| Običajno odprt（100 sccm≤FS≤5 slm） | Običajno odprt（100 sccm≤FS≤5 slm） | Običajno odprt（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferenčni tlak | 0,05 ~ 0,35 MPa （Pretok≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Pretok≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Pretok＞30slm） | |||||||
| Najvišji delovni tlak | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Nič: ≤±0,05 % FS/℃; | Nič: ≤±0,02 % FS/℃;Razpon: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficient | Razpon: ≤±0,1% FS/℃（Pretok≤30slm） | |||||
| Razpon: ≤±0,2% FS/℃（Pretok>30slm） | ||||||
| Dokazni pritisk | 3 MPa (435 psig) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6 % FS na leto brez samodejne ničle | |||||
| Celovitost puščanja | 1 × 10-9 atm·cc / s He | 1×10-10atm·cc / s He | ||||
| Omočeni materiali | Viton; | Kovina? (Nerjavno jeklo V/V, 5Ra) | Kovina | |||
| Površinska kemija | —— | Razmerje Cr/Fe >2,0;Debelina CrO >20 Angstromov | ||||
| Površinska obdelava | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Delovna temperatura | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Vhodni signal | Digitalno: RS485 ali ProfiBus | N/A | Digitalno: RS485 ali ProfiBus ali DeviceNetTM | N/A | Digitalno: RS485 ali ProfiBus ali DeviceNetTM | N/A |
| ali DeviceNetTM | Analogno: (0～5)VDC ali (4～20)mA ali (0～20)mA | Analogno: (0～5)VDC ali (4～20)mA?ali (0～20)mA | |||||
| Analogno: (0～5)VDC ali (4～20)mA ali (0～20)mA | |||||||
| Izhodni signal | Digitalno: RS485 ali DeviceNetTM ali ProfiBus Analogno: (0～5)VDC ali (4～20)mA ali (0～20)mA | ||||||
| Napajanje | ±8 ~ ±16 VDC ali +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Elektronski priključek | 9-polni moški sub-D ， 15-polni moški sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, analogni | ||||||
| Okovje | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| Kompresijski priključekΦ10; Kompresijski priključekΦ6； | Kompresijski priključekΦ6, | ||||||
| Kompresijski nastavek 3/8";Kompresijski priključek 1/4”； | Kompresijski priključekΦ3, | ||||||
| Kompresijski priključek 1/8”;Kompresijski priključekΦ3； | Kompresijski priključek 1/4”, | ||||||
| Ф6(notranji)×1cev;ф5(notranji)×1,5cev;ф4(notranji)×1cev; | W-tesnilo, | ||||||
| A-sael ; | C-tesnilo | ||||||
| Utež | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
