Индивидуальный турбонасосный агрегат
Принцип работы
Схема газового контура молекулярного насоса, как показано на рисунке выше, обычно используется при проверке производительности молекулярного насоса или различного оборудования для научных исследований и характеризуется тем, что оборудование вакуумной камеры и материалы относительно фиксированы, а вакуумную камеру не нужно часто открывать при работе в помещении.Если в передней ступени используется роторно-лопастной механический насос масляной среды, должен быть установлен клапан выпуска воздуха.Перегородочный вентиляционный клапан должен быть сблокирован с форвакуумным насосом, чтобы гарантировать, что пары масла и даже масло не попадут в молекулярный насос после отключения механического насоса.Некоторые роторно-лопастные механические насосы имеют автономные клапаны выпуска воздуха, чтобы избежать длительного использования, а форвакуумные трубы залиты маслом, и загрязнение является серьезным.
Технические индикаторы
1. Устройство представляет собой передвижную конструкцию тележки, которая может удовлетворить потребности выхлопных газов в разных положениях.
2. Степень вакуума оборудования лучше 8×10-4Па после запуска молекулярного насоса до 400 Гц, лучше, чем 5×10-5Па в течение 30 минут, а максимальный вакуум составляет 8×10-7Па.
3. Установка оснащена системой предварительного выхлопа, которая может осуществлять замену, предварительный вакуум и выхлопной поток высокого вакуума без остановки молекулярного насоса, что сокращает время выхлопа и эффективно повышает эффективность работы.
