Избрана слика приспособена единица за турбо пумпа

Прилагодена единица за турбо пумпа

Краток опис:

Издувната единица со висок вакуум од серијата EVT е опрема за аквизиција со ултра висок вакуум составена од композитна турбо пумпа од серијата EV, предна механичка пумпа, напојување за контрола на единицата, композитен вакуумски мерач со висок вакуум, ултрависок вентил за вакуумска плоча, аголен вентил за пред-пумпање и така натаму.Лесен за инсталирање, едноставен за ракување, доверливи перформанси.Може да се користи широко во полупроводничка опрема, електрични вакуумски уреди, акцелератори, анализа на површината, плазма и друга вакуумска технологија.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Принцип на работа

Шемата на колото за гас на молекуларната пумпа, како што е прикажано на горната слика, генерално се користи за тестирање на перформансите на молекуларната пумпа или разни научна опрема за откривање, и се карактеризира со тоа што објектите на вакуумската комора и материјалите се релативно фиксирани, а вакуумската комора не треба често да се отвора за работа во затворен простор.Ако предната етапа користи механичка пумпа со ротирачко сечило на медиумот за масло, вентилот за ослободување на воздухот треба да се инсталира.Вентилот за вентилација на преградата мора да биде поврзан со предната пумпа за да се осигура дека пареата од маслото, па дури и маслото нема да се вовлечат во молекуларната пумпа откако механичката пумпа ќе се исклучи.Некои механички пумпи со ротирачки ножеви имаат самостојни вентили за ослободување на воздухот за да се избегне долготрајна употреба, а цевките за предната линија се насекаде низ маслото и загадувањето е сериозно.

Технички индикатори

1. Единицата е подвижна структура на количка, која може да ги задоволи потребите на издувните гасови на различни позиции

2. Степенот на вакуум на опремата е подобар од 8×10-4pa откако ќе се вклучи молекуларната пумпа до 400HZ, подобар од 5×10-5pa во рок од 30 минути, а крајниот вакуум е 8×10-7pa.

3. Единицата е опремена со систем за пред-издувни гасови, кој може да го реализира заменскиот, пред-вакуумскиот и висок вакуумски издувен проток без запирање на молекуларната пумпа, што го скратува времето на издувни гасови и ефикасно ја подобрува работната ефикасност.