Unité de pompe turbo personnalisée

Brève description:

L'unité d'échappement à vide poussé de la série EVT est un équipement d'acquisition à ultra-vide composé d'une pompe turbo composite de la série EV, d'une pompe mécanique avant, d'une alimentation de commande de l'unité, d'un manomètre composite à vide poussé, d'une vanne à plaque à ultra-vide, d'une vanne d'angle de pré-pompage et bientôt.Facile à installer, simple à utiliser, performances fiables.Il peut être largement utilisé dans les équipements semi-conducteurs, les appareils à vide électriques, les accélérateurs, l'analyse de surface, le plasma et d'autres technologies du vide.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Principe de fonctionnement

Le schéma de circuit de gaz de la pompe moléculaire, comme illustré dans la figure ci-dessus, est généralement utilisé dans le test des performances de la pompe moléculaire ou de divers équipements de détection scientifique, et est caractérisé en ce que les installations de la chambre à vide et les matériaux sont relativement fixes, et le Il n’est pas nécessaire d’ouvrir fréquemment la chambre à vide pour un fonctionnement en intérieur.Si la scène avant utilise la pompe mécanique à pales rotatives du milieu pétrolier, la soupape de décharge d'air doit être installée.La vanne de ventilation de séparation doit être verrouillée avec la pompe primaire pour garantir que la vapeur d'huile et même l'huile ne seront pas aspirées dans la pompe moléculaire après la mise hors tension de la pompe mécanique.Certaines pompes mécaniques à pales rotatives sont équipées de soupapes de décharge d'air autonomes pour éviter une utilisation à long terme, et les tuyaux primaires sont partout dans le pétrole et la pollution est grave.

Indicateurs techniques

1. L'unité est une structure de chariot mobile, qui peut répondre aux besoins de l'échappement à différentes positions

2. Le degré de vide de l'équipement est meilleur que 8 × 10-4 Pa après le démarrage de la pompe moléculaire jusqu'à 400 Hz, meilleur que 5 × 10-5 Pa en 30 minutes et le vide ultime est de 8 × 10-7 Pa.

3. L'unité est équipée d'un système de pré-échappement, qui peut réaliser le débit d'échappement de remplacement, de pré-vide et de vide poussé sans arrêter la pompe moléculaire, ce qui raccourcit le temps d'échappement et améliore efficacement l'efficacité de travail.