Tilpasset turbopumpeenhet

Kort beskrivelse:

EVT-seriens høyvakuumeksosenhet er et ultrahøyvakuuminnsamlingsutstyr som består av EV-seriens komposittturbopumpe, mekanisk frontpumpe, enhetskontrollstrømforsyning, høyvakuumkomposittvakuummåler, ultrahøyvakuumplateventil, forpumpingsvinkelventil og så videre.Enkel å installere, enkel å betjene, pålitelig ytelse.Det kan brukes mye i halvlederutstyr, elektriske vakuumenheter, akseleratorer, overflateanalyse, plasma og annen vakuumteknologi.

Send e-post til oss

Produkt detalj

Produktetiketter

Arbeidsprinsipp

Gasskretsskjemaet til molekylpumpen, som vist i figuren ovenfor, brukes vanligvis i testen av molekylær pumpeytelse eller forskjellige vitenskapelige deteksjonsutstyr, og er karakterisert ved at vakuumkammerfasilitetene og materialene er relativt faste, og Vakuumkammeret er ikke nødvendig å åpnes ofte for innendørs drift.Hvis frontscenen bruker den roterende bladmekaniske pumpen til oljemediet, skal luftutløserventilen installeres.Delingsventilen må låses sammen med forpumpen for å sikre at oljedampen og til og med oljen ikke vil bli trukket inn i molekylpumpen etter at den mekaniske pumpen er slått av.Noen mekaniske pumper med roterende blader har selvstendige luftutløsningsventiler for å unngå langvarig bruk, og forlinjerørene er over hele oljen og forurensningen er alvorlig.

Tekniske indikatorer

1. Enheten er en bevegelig vognstruktur, som kan møte behovene til eksosen i forskjellige posisjoner

2. Vakuumgraden til utstyret er bedre enn 8×10-4pa etter at molekylpumpen er startet opp til 400HZ, bedre enn 5×10-5pa innen 30 minutter, og det ultimate vakuumet er 8×10-7pa.

3.Enheten er utstyrt med et pre-eksossystem, som kan realisere utskifting, pre-vakuum og høyvakuum eksosstrøm uten å stoppe molekylpumpen, noe som forkorter eksostiden og effektivt forbedrer arbeidseffektiviteten.