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Unidad de bomba turbo personalizada

Breve descripción:

La unidad de escape de alto vacío serie EVT es un equipo de adquisición de vacío ultraalto compuesto por una bomba turbo compuesta de la serie EV, una bomba mecánica frontal, una fuente de alimentación de control de la unidad, un vacuómetro compuesto de alto vacío, una válvula de placa de vacío ultraalto, una válvula angular de prebombeo y pronto.Fácil de instalar, simple de operar, rendimiento confiable.Puede ser ampliamente utilizado en equipos semiconductores, dispositivos eléctricos de vacío, aceleradores, análisis de superficies, plasma y otras tecnologías de vacío.


Detalle del producto

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Principio de funcionamiento

Unidad de bomba turbo (2)

El esquema del circuito de gas de la bomba molecular, como se muestra en la figura anterior, se usa generalmente en la prueba del rendimiento de la bomba molecular o en diversos equipos de detección científica, y se caracteriza porque las instalaciones de la cámara de vacío y los materiales son relativamente fijos, y el No es necesario abrir con frecuencia la cámara de vacío para el funcionamiento en interiores.Si la etapa delantera utiliza la bomba mecánica de paletas giratorias del medio de aceite, se debe instalar la válvula de liberación de aire.La válvula de ventilación de partición debe estar interconectada con la bomba delantera para garantizar que el vapor de aceite e incluso el aceite no entren en la bomba molecular después de apagar la bomba mecánica.Algunas bombas mecánicas de paletas giratorias tienen válvulas de liberación de aire autónomas para evitar un uso prolongado, y las tuberías delanteras están por todo el petróleo y la contaminación es grave.

Indicadores técnicos

1.La unidad es una estructura de carro móvil, que puede satisfacer las necesidades del escape en diferentes posiciones.

2.El grado de vacío del equipo es mejor que 8×10-4pa después de que la bomba molecular se enciende hasta 400 HZ, mejor que 5×10-5pa en 30 minutos, y el vacío máximo es 8×10-7pa.

3.La unidad está equipada con un sistema de preescape, que puede realizar el reemplazo, el prevacío y el flujo de escape de alto vacío sin detener la bomba molecular, lo que acorta el tiempo de escape y mejora efectivamente la eficiencia de trabajo.

Unidad de bomba turbo (2)
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