Персонализиран турбо помпен агрегат

Кратко описание:

Изпускателният модул с висок вакуум от серията EVT е оборудване за събиране на ултрависок вакуум, съставено от композитна турбопомпа от серия EV, предна механична помпа, захранване за управление на модула, композитен манометър с висок вакуум, пластинчат клапан с ултрависок вакуум, ъглов клапан за предварително изпомпване и скоро.Лесен за инсталиране, лесен за работа, надеждна работа.Може да се използва широко в полупроводниково оборудване, електрически вакуумни устройства, ускорители, повърхностен анализ, плазма и други вакуумни технологии.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Принцип на работа

Схемата на газовата верига на молекулярната помпа, както е показано на фигурата по-горе, обикновено се използва при тестване на производителността на молекулярната помпа или различно научно оборудване за откриване и се характеризира с това, че съоръженията на вакуумната камера и материалите са относително фиксирани и не е необходимо вакуумната камера да се отваря често за работа на закрито.Ако предното стъпало използва механична помпа с въртящи се лопатки на маслената среда, трябва да се монтира вентилът за освобождаване на въздуха.Разделителният вентилационен вентил трябва да бъде блокиран с предната помпа, за да се гарантира, че маслените пари и дори маслото няма да бъдат изтеглени в молекулярната помпа, след като механичната помпа бъде изключена.Някои механични помпи с въртящи се лопатки имат самостоятелни вентили за освобождаване на въздуха, за да се избегне продължителна употреба, а тръбите на предния тръбопровод са навсякъде в маслото и замърсяването е сериозно.

Технически показатели

1. Устройството е подвижна конструкция на количка, която може да отговори на нуждите на изпускателната тръба на различни позиции

2. Степента на вакуум на оборудването е по-добра от 8×10-4pa след пускане на молекулярната помпа до 400HZ, по-добра от 5×10-5pa в рамките на 30 минути, а крайният вакуум е 8×10-7pa.

3. Устройството е оборудвано със система за предварително изпускане, която може да реализира заместващия, предвакуумния и високовакуумния изпускателен поток без спиране на молекулярната помпа, което съкращава времето за изпускане и ефективно подобрява работната ефективност.