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Unidade de bomba turbo personalizada

Pequena descrição:

A unidade de exaustão de alto vácuo da série EVT é um equipamento de aquisição de ultra-alto vácuo composto por bomba turbo composta da série EV, bomba mecânica frontal, fonte de alimentação de controle da unidade, medidor de vácuo composto de alto vácuo, válvula de placa de ultra-alto vácuo, válvula angular de pré-bombeamento e breve.Fácil de instalar, simples de operar e desempenho confiável.Pode ser amplamente utilizado em equipamentos semicondutores, dispositivos elétricos de vácuo, aceleradores, análise de superfície, plasma e outras tecnologias de vácuo.


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Princípio de trabalho

Unidade de bomba turbo (2)

O esquema do circuito de gás da bomba molecular, conforme mostrado na figura acima, é geralmente usado no teste de desempenho da bomba molecular ou em vários equipamentos de detecção científica, e é caracterizado pelo fato de que as instalações da câmara de vácuo e os materiais são relativamente fixos, e o a câmara de vácuo não precisa ser aberta com frequência para operação interna.Se o estágio frontal utilizar a bomba mecânica de lâmina rotativa do meio de óleo, a válvula de liberação de ar deverá ser instalada.A válvula de ventilação da partição deve ser interligada com a bomba dianteira para garantir que o vapor de óleo e até mesmo o óleo não sejam aspirados para a bomba molecular depois que a bomba mecânica for desligada.Algumas bombas mecânicas de lâminas rotativas possuem válvulas de liberação de ar independentes para evitar o uso a longo prazo, e os tubos foreline estão espalhados pelo óleo e a poluição é grave.

Indicadores técnicos

1. A unidade é uma estrutura de carrinho móvel, que pode atender às necessidades de exaustão em diferentes posições

2.O grau de vácuo do equipamento é melhor que 8×10-4pa depois que a bomba molecular é iniciada até 400HZ, melhor que 5×10-5pa em 30 minutos, e o vácuo final é 8×10-7pa.

3.A unidade está equipada com um sistema de pré-exaustão, que pode realizar a substituição, pré-vácuo e fluxo de exaustão de alto vácuo sem parar a bomba molecular, o que encurta o tempo de exaustão e melhora efetivamente a eficiência de trabalho.

Unidade de bomba turbo (2)
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