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Unità di pompa turbo persunalizata

Descrizione breve:

L'unità di scarico di alta vacuum di a serie EVT hè un equipamentu d'acquisizione di vacu ultra-altu cumpostu da pompa turbo composita di serie EV, pompa meccanica frontale, alimentazione di cuntrollu di unità, vacuometru compositu di vacuum altu, valvola di piastra di vacu ultra-altu, valvola d'angolo di pre-pumping è cusì.Facile à stallà, simplice à uperà, prestazione affidabile.Pò esse largamente utilizatu in l'equipaggiu di semiconductor, i dispositi di vacuum elettricu, acceleratori, analisi di superficia, plasma è altre tecnulugia di vacuum.


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Principiu di travagliu

Unità di pompa turbo (2)

U schema di circuitu di gasu di a pompa moleculare, cum'è mostra in a figura sopra, hè generalmente utilizatu in a prova di u rendiment di a pompa moleculare o in diversi equipaghji di rilevazione scientifica, è hè carattarizatu da chì e strutture di a camera di vacuum è i materiali sò relativamente fissi A camera di vacuum ùn hè micca necessariu di esse aperta spessu per u funziunamentu di l'internu.Se u stadiu frontale usa a pompa meccanica rotativa di u mediu d'oliu, a valvula di liberazione d'aria deve esse installata.A valvula di ventilazione di partizione deve esse interlocked with the forepump per assicurà chì u vapore d'oliu è ancu l'oliu ùn saranu micca attirati in a pompa moleculare dopu chì a pompa meccanica hè stata spenta.Certi pompe meccaniche rotary-blade hannu valves self-contained air-release per evitari usu à longu andà, è i tubi di foreline sò in tuttu l 'oliu è a contaminazione hè seriu.

Indicatori tecnichi

1.L'unità hè una struttura di trolley mobile, chì pò risponde à i bisogni di l'exhaust in diverse pusizioni

2.U gradu di vacuum di l'attrezzatura hè megliu cà 8 × 10-4pa dopu chì a pompa moleculare hè cuminciata à 400HZ, megliu cà 5 × 10-5pa in 30 minuti, è u vacuum finale hè 8 × 10-7pa.

3.The unità hè furnutu cù un sistemu pre-exhaust, chì pò rializà u rimpiazzamentu, pre-vacuum è altu flussu di scarico vacuum senza firmavanu a pompa molecular, chì accurtà u tempu di scarico è effittivamenti migliurà l 'efficienza di u travagliu.

Unità di pompa turbo (2)
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