カスタマイズされたターボポンプユニット

分子ポンプのガス回路方式は、上図に示すように、分子ポンプの性能試験や各種科学検出装置などに一般的に使用されており、真空室の設備や材料が比較的固定されているのが特徴です。屋内での操作のために真空チャンバーを頻繁に開ける必要はありません。前段が油媒体の回転翼メカニカルポンプを使用する場合は、エア抜きバルブを設置してください。機械式ポンプの電源を切った後、オイル蒸気やオイルさえも分子ポンプに引き込まれないように、隔壁ベントバルブをフォアポンプと連動させる必要があります。一部の回転ブレード機械式ポンプには、長期使用を避けるために内蔵型の空気放出バルブが付いていますが、フォアライン パイプはオイルにまみれており、汚染は深刻です。

テクニカル指標

1.ユニットは可動トロリー構造で、さまざまな位置での排気のニーズを満たすことができます。

2.装置の真空度は、分子ポンプを400HZまで起動した後8×10-4pa以上、30分以内に5×10-5pa以上、到達真空度は8×10-7paです。

3.ユニットには予排気システムが装備されており、分子ポンプを停止することなく交換、予真空、高真空排気の流れを実現できるため、排気時間が短縮され、作業効率が効果的に向上します。