Özelleştirilmiş Turbo Pompa Ünitesi

Kısa Açıklama:

EVT serisi yüksek vakumlu egzoz ünitesi, EV serisi kompozit turbo pompa, ön mekanik pompa, ünite kontrol güç kaynağı, yüksek vakumlu kompozit vakum göstergesi, ultra yüksek vakum plakalı valf, ön pompalama açılı valftan oluşan ultra yüksek vakumlu bir toplama ekipmanıdır. yakında.Kurulumu kolay, kullanımı basit, güvenilir performans.Yarı iletken ekipmanlarda, elektrikli vakum cihazlarında, hızlandırıcılarda, yüzey analizinde, plazma ve diğer vakum teknolojilerinde yaygın olarak kullanılabilir.

Bize e-posta gönder

Ürün ayrıntısı

Ürün etiketleri

Çalışma prensibi

Yukarıdaki şekilde gösterildiği gibi moleküler pompanın gaz devresi şeması, genellikle moleküler pompa performansının veya çeşitli bilimsel tespit ekipmanlarının testinde kullanılır ve vakum odası tesislerinin ve malzemelerin nispeten sabit olması ve Kapalı alanda kullanım için vakum odasının sık sık açılmasına gerek yoktur.Ön aşamada yağ ortamının döner kanatlı mekanik pompası kullanılıyorsa, hava tahliye vanası takılmalıdır.Mekanik pompa kapatıldıktan sonra yağ buharının ve hatta yağın moleküler pompaya çekilmemesini sağlamak için bölme havalandırma valfi ön pompa ile kilitlenmelidir.Bazı döner kanatlı mekanik pompalar, uzun süreli kullanımı önlemek için bağımsız hava tahliye valflerine sahiptir ve ön hat boruları petrolün her yerindedir ve kirlilik ciddidir.

Teknik göstergeler

1. Ünite, egzozun ihtiyaçlarını farklı konumlarda karşılayabilen hareketli bir araba yapısıdır.

2. Moleküler pompa 400HZ'ye kadar çalıştırıldıktan sonra ekipmanın vakum derecesi 8×10-4pa'dan daha iyidir, 30 dakika içinde 5×10-5pa'dan daha iyidir ve nihai vakum 8×10-7pa'dır.

3. Ünite, moleküler pompayı durdurmadan değiştirme, ön vakum ve yüksek vakumlu egzoz akışını gerçekleştirebilen, egzoz süresini kısaltan ve çalışma verimliliğini etkili bir şekilde artıran bir ön egzoz sistemi ile donatılmıştır.