Customized Turbo Pump Unit

Maikling Paglalarawan:

Ang EVT series na high vacuum exhaust unit ay isang ultra-high vacuum acquisition equipment na binubuo ng EV series composite turbo pump, front mechanical pump, unit control power supply, high vacuum composite vacuum gauge, ultra-high vacuum plate valve, pre-pumping angle valve at iba pa.Madaling i-install, simpleng patakbuhin, maaasahang pagganap.Maaari itong malawakang magamit sa mga kagamitan sa semiconductor, mga de-kuryenteng vacuum device, mga accelerator, pagsusuri sa ibabaw, plasma at iba pang teknolohiya ng vacuum.

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Prinsipyo ng paggawa

Ang gas circuit scheme ng molecular pump, tulad ng ipinapakita sa figure sa itaas, ay karaniwang ginagamit sa pagsubok ng molecular pump performance o iba't ibang pang-agham na kagamitan sa pagtuklas, at nailalarawan sa na ang mga pasilidad ng vacuum chamber at ang mga materyales ay medyo naayos, at ang Ang vacuum chamber ay hindi kinakailangang buksan nang madalas para sa panloob na operasyon.Kung ang front stage ay gumagamit ng rotary blade mechanical pump ng oil medium, dapat i-install ang air release valve.Ang balbula ng partition vent ay dapat na magkakaugnay sa forepump upang matiyak na ang singaw ng langis at maging ang langis ay hindi madadala sa molecular pump pagkatapos patayin ang mekanikal na bomba.Ang ilang mga rotary-blade mechanical pump ay may mga self-contained na air-release valve upang maiwasan ang pangmatagalang paggamit, at ang mga foreline pipe ay nasa buong langis at ang polusyon ay malubha.

Mga teknikal na tagapagpahiwatig

1. Ang yunit ay isang movable trolley structure, na maaaring matugunan ang mga pangangailangan ng tambutso sa iba't ibang posisyon

2. Ang antas ng vacuum ng kagamitan ay mas mahusay kaysa sa 8×10-4pa pagkatapos simulan ang molecular pump hanggang 400HZ, mas mahusay kaysa sa 5×10-5pa sa loob ng 30 minuto, at ang ultimate vacuum ay 8×10-7pa.

3. Ang yunit ay nilagyan ng isang pre-exhaust system, na maaaring mapagtanto ang kapalit, pre-vacuum at mataas na vacuum na daloy ng tambutso nang hindi humihinto sa molecular pump, na nagpapaikli sa oras ng tambutso at epektibong nagpapabuti sa kahusayan sa pagtatrabaho.