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Unità pompa turbo personalizzata

Breve descrizione:

L'unità di scarico ad alto vuoto della serie EVT è un'apparecchiatura per l'acquisizione di vuoto ultra-alto composta da pompa turbo composita serie EV, pompa meccanica anteriore, alimentatore di controllo dell'unità, vacuometro composito per alto vuoto, valvola a piastra per vuoto ultra-alto, valvola ad angolo di pre-pompaggio e Presto.Facile da installare, semplice da usare, prestazioni affidabili.Può essere ampiamente utilizzato in apparecchiature a semiconduttore, dispositivi elettrici per il vuoto, acceleratori, analisi di superficie, plasma e altre tecnologie del vuoto.


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Principio di funzionamento

Gruppo pompa turbo (2)

Lo schema del circuito del gas della pompa molecolare, come mostrato nella figura sopra, viene generalmente utilizzato nel test delle prestazioni della pompa molecolare o in varie apparecchiature di rilevamento scientifico ed è caratterizzato dal fatto che le strutture della camera a vuoto e i materiali sono relativamente fissi e il non è necessario aprire frequentemente la camera a vuoto per il funzionamento in interni.Se lo stadio anteriore utilizza la pompa meccanica a lama rotante del mezzo oleoso, deve essere installata la valvola di rilascio dell'aria.La valvola di sfiato del divisorio deve essere collegata alla pompa anteriore per garantire che il vapore d'olio e persino l'olio non vengano aspirati nella pompa molecolare dopo lo spegnimento della pompa meccanica.Alcune pompe meccaniche a pale rotanti sono dotate di valvole di rilascio dell'aria autonome per evitare l'uso a lungo termine, e i tubi principali sono ricoperti interamente di petrolio e l'inquinamento è grave.

Indicatori tecnici

1.L'unità è una struttura a carrello mobile, in grado di soddisfare le esigenze di scarico in diverse posizioni

2. Il grado di vuoto dell'apparecchiatura è migliore di 8×10-4pa dopo l'avvio della pompa molecolare fino a 400 HZ, migliore di 5×10-5pa entro 30 minuti e il vuoto finale è 8×10-7pa.

3. L'unità è dotata di un sistema di pre-scarico, che può realizzare il flusso di scarico di sostituzione, pre-vuoto e alto vuoto senza arrestare la pompa molecolare, il che riduce il tempo di scarico e migliora efficacemente l'efficienza lavorativa.

Gruppo pompa turbo (2)
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