EV сериялы күрделі молекулалық сорғылар
EV-сериясы Техникалық деректер
| Үлгі | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Кіріс фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Шығу фланеці(мм) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Айдау жылдамдығы (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Қысу коэффициенті | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Ең жоғары вакуум(Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Айналу жылдамдығы (айн/мин) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Діріл | ≤0,1 мкм | ≤0,1 мкм | ≤0,15 мкм | ||||
| Орындау уақыты (мин) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
| Артқы сорғы | 4-8 л/с | 8-15 л/с | 15 л/с | ||||
| Салқындату әдісі | Суды (ауаны) салқындату | Суды (ауаны) салқындату | Суды (ауаны) салқындату | ||||
| Салқындату суының температурасы (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Қоршаған орта температурасы（℃） | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Салқындату суының ағынының мөлшері | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | ||||
| Пісіру температурасы（℃） | <120 | <120 | <120 | ||||
| Қыздырғыш қуаты (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Қыздырғыштың кіріс кернеуі（v） | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Монтаждау | Тік ±5° | Тік ±5° | Тік ±5° | ||||
| Салмағы (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Қосылыстың атмосфералық айдау қисығы
Молекулалық сорғы
Азот пен сутектің сығымдау қатынасының қисығы
күрделі молекулалық сорғы арқылы
EV сериясы Құрама молекулалық сорғыны орнату өлшемдер кестесі
| Үлгі | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Кіріс фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Сорғы аяғының бұрандалы тесігі | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Шығу фланеці(мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
EV сериялы ауаны салқындату қосындысы молекулалық сорғылар
EV сериялы ауамен салқындатылатын қосылысты молекулалық сорғы турбомолекулярлық сорғы мен дискілі тартқыш сорғыдан тұрады.Ол турбомолекулярлық сорғының молекулалық ағыны үшін жоғары айдау жылдамдығы мен қысу коэффициентінің, тартым сорғының жоғары қысымы үшін жоғары айдау жылдамдығы мен қысу коэффициентінің сипаттамаларына ие және молекулалық сорғының қолдану аясын кеңейтеді.
Құрама молекулалық сорғы айдалатын газға селективті және жады әсер етпейді.Үлкен молекулалық салмағы бар газға жоғары сығымдау қатынасы болғандықтан, сорғы суық ұстағыш пен май қалқасыз таза жоғары және өте жоғары вакуумды ала алады.Ол электрониканың, металлургияның, химия өнеркәсібінің, ғылыми зерттеулердің және вакуумдық технологияның әртүрлі салаларында кеңінен қолданылады.
| Үлгі | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Кіріс фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Сорғы аяғының бұрандалы тесігі | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
