ปั๊มโมเลกุลแบบผสม EV ซีรีส์
ข้อมูลทางเทคนิคของซีรีย์ EV
| แบบอย่าง | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| หน้าแปลนทางเข้า (มม.) | 150 ซีเอฟ | 160 ISO-K | 200 ซีเอฟ | 200 ISO-K | 250 ซีเอฟ | 250 ISO-K | |
| หน้าแปลนทางออก (มม.) | 40 เคเอฟ | 40 เคเอฟ | 50 เคเอฟ | ||||
| ความเร็วในการสูบน้ำ (L / S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| อัตราส่วนกำลังอัด | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| สุดยอดสุญญากาศ(Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| ความเร็วในการหมุน(รอบต่อนาที) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| การสั่นสะเทือน | ≤0.1 ไมโครเมตร | ≤0.1 ไมโครเมตร | ≤0.15 ไมโครเมตร | ||||
| เวลารันอัพ (นาที) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
| ปั๊มสำรอง | 4-8 ลิตร/วินาที | 8-15 ลิตร/วินาที | 15 ลิตร/วินาที | ||||
| วิธีการทำความเย็น | น้ำ (อากาศ) ระบายความร้อน | น้ำ (อากาศ) ระบายความร้อน | น้ำ (อากาศ) ระบายความร้อน | ||||
| อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| อุณหภูมิแวดล้อม (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| ปริมาณการไหลของน้ำหล่อเย็น | 1-2 ลิตร/นาที | 1-2 ลิตร/นาที | 1-2 ลิตร/นาที | ||||
| อุณหภูมิในการอบ (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| กำลังเครื่องทำความร้อน (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| เครื่องทำความร้อนแรงดันไฟฟ้าขาเข้า (v) | เอซี220 | เอซี220 | เอซี220 | ||||
| การติดตั้ง | แนวตั้ง ±5° | แนวตั้ง ±5° | แนวตั้ง ±5° | ||||
| น้ำหนัก (กิโลกรัม) | µ25 | µ29 | µ31 | ||||
เส้นโค้งการปั๊มบรรยากาศของสารประกอบ
ปั๊มโมเลกุล
เส้นโค้งอัตราส่วนการอัดของไนโตรเจนและไฮโดรเจน
โดยปั๊มโมเลกุลผสม
ตารางขนาดการติดตั้ง EV ซีรี่ส์ของปั๊มโมเลกุลแบบผสม
| แบบอย่าง | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| หน้าแปลนทางเข้า (มม.) | 150 ซีเอฟ | 160 ISO-K | 200 ซีเอฟ | 200 ISO-K | 250 ซีเอฟ | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ค.167.6 | ค.167.6 | ค.183.9 | ค.183.9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| ปั๊มขารูสกรู | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| หน้าแปลนทางออก (มม.) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
EV Series ปั๊มโมเลกุลแบบคอมพาวด์ระบายความร้อนด้วยอากาศ
ปั๊มโมเลกุลแบบผสมระบายความร้อนด้วยอากาศ EV ซีรีส์ประกอบด้วยปั๊มเทอร์โบโมเลกุลและปั๊มฉุดแผ่นดิสก์มีลักษณะของความเร็วในการปั๊มสูงและอัตราส่วนการอัดสำหรับการไหลของโมเลกุลของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ความเร็วการปั๊มสูงและอัตราส่วนการอัดสำหรับแรงดันสูงของปั๊มฉุด และขยายขอบเขตการใช้งานของปั๊มโมเลกุล
ปั๊มโมเลกุลแบบผสมไม่มีความสามารถในการคัดเลือกและผลกระทบต่อหน่วยความจำต่อก๊าซที่ถูกสูบเนื่องจากมีอัตราส่วนการอัดสูงต่อก๊าซที่มีน้ำหนักโมเลกุลขนาดใหญ่ ปั๊มจึงได้สุญญากาศสูงและสูงเป็นพิเศษที่สะอาดโดยไม่ต้องใช้กับดักความเย็นและแผ่นกั้นน้ำมันมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านอิเล็กทรอนิกส์ โลหะวิทยา อุตสาหกรรมเคมี การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยีสูญญากาศ
| แบบอย่าง | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| หน้าแปลนทางเข้า (มม.) | 150 ซีเอฟ | 160 ISO-K | 200 ซีเอฟ | 200 ISO-K | 250 ซีเอฟ | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ค.167.6 | ค.167.6 | ค.183.8 | ค.183.8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| ปั๊มขารูสกรู | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
