Составные молекулярные насосы серии EV
Технические данные серии EV
| Модель | ЭВ-600 ЭВ-600Ф | ЭВ-1200 ЭВ-1200Ф | ЭВ-1600 ЭВ-1600Ф | ||||
| Входной фланец (мм) | 150 франков | 160 ИСО-К | 200 франков | 200 ИСО-К | 250 франков | 250 ИСО-К | |
| Выходной фланец (мм) | 40 КФ | 40 КФ | 50 КФ | ||||
| Скорость откачки (л/с) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Коэффициент сжатия | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Предельный вакуум (Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Скорость вращения (об/мин) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Вибрация | ≤0,1 мкм | ≤0,1 мкм | ≤0,15 мкм | ||||
| Время запуска (мин) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Форвакуумный насос | 4-8 л/с | 8-15 л/с | 15 л/с | ||||
| Метод охлаждения | Водяное (воздушное) охлаждение | Водяное (воздушное) охлаждение | Водяное (воздушное) охлаждение | ||||
| Температура охлаждающей воды (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Температура окружающей среды (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Количество расхода охлаждающей воды | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | ||||
| Температура выпекания (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Мощность нагревателя (Вт) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Входное напряжение нагревателя (В) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Монтаж | Вертикально ±5° | Вертикально ±5° | Вертикально ±5° | ||||
| Вес (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Кривая откачки соединения в атмосфере
Молекулярный насос
Кривая степени сжатия азота и водорода
с помощью сложного молекулярного насоса
Таблица установочных размеров серии EV составного молекулярного насоса
| Модель | ЭВ-600 | ЭВ-1200 | ЭВ-1600 | ||||
| Входной фланец (мм) | 150 франков | 160 ИСО-К | 200 франков | 200 ИСО-К | 250 франков | 250 ИСО-К | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Отверстие для винта опоры насоса | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | |
| Выходной фланец (мм) | КФ40 | КФ40 | КФ40 | КФ40 | КФ50 | КФ50 | |
Молекулярные насосы с воздушным охлаждением серии EV
Составной молекулярный насос с воздушным охлаждением серии EV состоит из турбомолекулярного насоса и дискового тягового насоса.Он обладает характеристиками высокой скорости откачки и степени сжатия для молекулярного потока турбомолекулярного насоса, высокой скорости откачки и степени сжатия для высокого давления тягового насоса, а также расширяет сферу применения молекулярного насоса.
Составной молекулярный насос не обладает эффектом селективности и памяти на перекачиваемый газ.Благодаря высокой степени сжатия для газа с большой молекулярной массой насос может создавать чистый высокий и сверхвысокий вакуум без холодной ловушки и масляной перегородки.Он широко используется в различных областях электроники, металлургии, химической промышленности, научных исследований и вакуумной техники.
| Модель | ЭВ-600Ф | ЭВ-1200Ф | ЭВ-1600Ф | |||
| Входной фланец (мм) | 150 франков | 160 ИСО-К | 200 франков | 200 ИСО-К | 250 франков | 250 ИСО-К |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Отверстие для винта опоры насоса | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 |
