עוו סעריע קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאַמפּס
EV-סעריע טעכניש דאַטן
| מאָדעל | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| ינלעט פלאַנדזש (מם) | 150 קף | 160 ISO-K | 200 קף | 200 ISO-K | 250 קף | 250 ISO-K | |
| אָוטלעט פלאַנדזש (מם) | 40 קפ | 40 קפ | 50 קפ | ||||
| פּאַמפּינג גיכקייַט (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| לעצט וואַקוום (פּאַ) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| ראָוטיישאַן גיכקייַט (רפּם) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| ווייבריישאַן | ≤0.1 μם | ≤0.1 μם | ≤0.15 μם | ||||
| לויפן-אַרויף צייט (מין) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
| באַקינג פּאַמפּ | 4-8 ל / ס | 8-15 ל / ס | 15 ל / ס | ||||
| קאָאָלינג אופֿן | וואַסער (לופט) קאָאָלינג | וואַסער (לופט) קאָאָלינג | וואַסער (לופט) קאָאָלינג | ||||
| קאָאָלינג וואַסער טעמפּעראַטור (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| אַמביאַנט טעמפּעראַטור (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| קאָאָלינג וואַסער פלאָו קוואַנטיטי | 1-2 ל / מין | 1-2 ל / מין | 1-2 ל / מין | ||||
| באַקן-אויס טעמפּעראַטור (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| כיטער מאַכט (וו) | <250 | <300 | <300 | ||||
| כיטער אַרייַנשרייַב וואָולטידזש (וו) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| מאַונטינג | ווערטיקאַל ±5° | ווערטיקאַל ±5° | ווערטיקאַל ±5° | ||||
| וואָג (קג) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
אַטמאָספעריק פּאַמפּינג ויסבייג פון קאַמפּאַונד
מאָלעקולאַר פּאָמפּע
קאַמפּרעסינג פאַרהעלטעניש ויסבייג פון ניטראָגען און הידראָגען
דורך קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאָמפּע
EV סעריע ינסטאַללאַטיאָן ויסמעסטונג טיש פון קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאָמפּע
| מאָדעל | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| ינלעט פלאַנדזש (מם) | 150 קף | 160 ISO-K | 200 קף | 200 ISO-K | 250 קף | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| פּאָמפּע פוס שרויף לאָך | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | |
| אָוטלעט פלאַנדזש (מם) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
EV סעריע לופט-קאָאָלינג קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאַמפּס
EV-סעריע לופט-קולד קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאָמפּע איז פארפאסט פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע און דיסק טראַקשאַן פּאָמפּע.עס האט די טשאַראַקטעריסטיקס פון הויך פּאַמפּינג גיכקייַט און קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש פֿאַר מאָלעקולאַר לויפן פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע, הויך פּאַמפּינג גיכקייַט און קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש פֿאַר הויך דרוק פון טראַקשאַן פּאָמפּע, און יקספּאַנדז די אַפּלאַקיישאַן פאַרנעם פון מאָלעקולאַר פּאָמפּע.
די קאַמפּאַונד מאָלעקולאַר פּאָמפּע האט קיין סעלעקטיוויטי און זכּרון ווירקונג אויף די פּאַמפּט גאַז.ווייַל פון זייַן הויך קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש צו די גאַז מיט גרויס מאָלעקולאַר וואָג, די פּאָמפּע קענען באַקומען ריין הויך און הינטער הויך וואַקוום אָן קאַלט טראַפּ און בוימל באַפאַלער.עס איז וויידלי געניצט אין פאַרשידן פעלדער פון עלעקטראָניק, מעטאַלערדזשי, כעמישער אינדוסטריע, וויסנשאפטלעכע פאָרשונג און וואַקוום טעכנאָלאָגיע.
| מאָדעל | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| ינלעט פלאַנדזש (מם) | 150 קף | 160 ISO-K | 200 קף | 200 ISO-K | 250 קף | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| פּאָמפּע פוס שרויף לאָך | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 | 4-מ8 |
