EV 시리즈 복합 분자 펌프

모델

EV-600

EV-600F

EV-1200

EV-1200F

EV-1600

EV-1600F

입구 플랜지(mm)

150CF

160 ISO-K

200CF

200 ISO-K

250CF

250 ISO-K

출구 플랜지(mm)

40KF

40KF

50KF

펌핑 속도(L/S)

600

1200

1600

압축비

N²

>10⁹

>10⁹

>10⁹

H²

>8X10³

>1X10⁴

>1X10⁴

극진공(Pa)

<8X10^-8

<5X10^-7

<8X10^-8

<5X10^-7

<8X10^-8

<5X10^-7

회전속도(rpm)

24000

24000

24000

진동

0.1μm 이하

0.1μm 이하

0.15μm 이하

실행 시간(분)

<4.5

<5

<6

백업 펌프

4-8 L/S

8-15L/S

15리터/초

냉각방식

물(공기) 냉각

물(공기) 냉각

물(공기) 냉각

냉각수온도(℃)

20 이하

20 이하

20 이하

주변 온도(℃)

≤35

≤35

≤35

냉각수 유량

1-2L/분

1-2L/분

1-2L/분

베이크아웃 온도(℃)

<120

<120

<120

히터 전력(w)

<250

<300

<300

히터 입력 전압(v)

AC220

AC220

AC220

설치

수직 ±5°

수직 ±5°

수직 ±5°

무게(kg)

≒25

≒29

≒31