मास फ्लो कन्ट्रोलरहरू (MFC) ले ग्याँसहरूको ठूलो प्रवाहको सटीक मापन र नियन्त्रण प्रदान गर्दछ।
I. MFC र MFM बीच के भिन्नता छ?
मास फ्लो मिटर (MFM) एक प्रकारको यन्त्र हो जसले ग्यास प्रवाहको सही मापन गर्दछ, र यसको मापन मान तापक्रम वा दबाबमा उतार-चढावको कारण गलत हुँदैन, र तापक्रम र दबाब क्षतिपूर्ति आवश्यक पर्दैन। मास फ्लो कन्ट्रोलर (MFC) मात्र होइन। मास फ्लो मिटरको प्रकार्य छ, तर अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, यसले स्वचालित रूपमा ग्यास प्रवाहलाई नियन्त्रण गर्न सक्छ, अर्थात्, प्रयोगकर्ताले उनीहरूको आवश्यकता अनुसार प्रवाह सेट गर्न सक्छ, र MFC ले स्वचालित रूपमा प्रवाहलाई सेट मानमा स्थिर राख्छ, भले पनि। प्रणाली दबाव उतार-चढ़ाव वा परिवेशको तापमानमा परिवर्तनहरूले यसलाई सेट मानबाट विचलित गराउने छैन।मास फ्लो कन्ट्रोलर एक स्थिर प्रवाह यन्त्र हो, जुन एक ग्यास स्थिर प्रवाह यन्त्र हो जुन म्यानुअल रूपमा सेट गर्न सकिन्छ वा कम्प्युटरसँग जडानद्वारा स्वचालित रूपमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।मास फ्लो मिटरले मापन मात्र गर्छ तर नियन्त्रण गर्दैन।मास फ्लो कन्ट्रोलरसँग कन्ट्रोल भल्भ हुन्छ, जसले ग्यास प्रवाहलाई मापन र नियन्त्रण गर्न सक्छ।
II।संरचना कस्तो छ रसञ्चालन सिद्धान्त?
1, संरचना
2, सञ्चालन सिद्धान्त
जब प्रवाह इनटेक पाइपमा प्रवेश गर्दछ, धेरै जसो प्रवाह डाइभर्टर च्यानलबाट जान्छ, जसको सानो भाग सेन्सर भित्र केशिका ट्यूबमा प्रवेश गर्दछ।को विशेष संरचना को कारण
डाइभर्टर च्यानल, ग्याँस प्रवाह को दुई भाग प्रत्यक्ष समानुपातिक हुन सक्छ।सेन्सर पहिले तताइएको र तताइएको छ, र भित्रको तापक्रम इनलेट हावाको तापक्रम भन्दा बढी छ।यस समयमा, ग्याँस को सानो भाग को जन प्रवाह केशिका ट्यूब द्वारा गर्मी स्थानान्तरण को सिद्धान्त र तापमान भिन्नता क्यालोरीमेट्री को सिद्धान्त द्वारा मापन गरिन्छ।यस तरिकाले मापन गरिएको ग्यासको प्रवाहले तापक्रम र दबाबको प्रभावलाई बेवास्ता गर्न सक्छ।सेन्सरले पत्ता लगाएको प्रवाह मापन संकेत सर्किट बोर्डमा इनपुट हुन्छ र एम्प्लीफाइड र आउटपुट हुन्छ, र MFM को कार्य पूरा हुन्छ।सर्किट बोर्डमा PID बन्द लूप स्वचालित नियन्त्रण प्रकार्य थप्दै, प्रयोगकर्ता द्वारा दिइएको सेट संकेत संग सेन्सर द्वारा मापन प्रवाह मापन संकेत तुलना गर्नुहोस्।यसको आधारमा, कन्ट्रोल भल्भलाई नियन्त्रण गरिन्छ ताकि प्रवाह पत्ता लगाउने संकेत सेट सिग्नलको बराबर हुन्छ, यसरी MFC को कार्यलाई महसुस गर्दै।
III।अनुप्रयोग र सुविधाहरू।
MFC, जसलाई क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा लागू गरिन्छ: अर्धचालक र IC निर्माण, विशेष सामग्री विज्ञान, रासायनिक उद्योग, पेट्रोल उद्योग, औषधि उद्योग, वातावरण संरक्षण र भ्याकुम प्रणाली अनुसन्धान, आदि। विशिष्ट अनुप्रयोगहरू समावेश छन्: प्रसार जस्ता माइक्रोइलेक्ट्रोनिक प्रक्रिया उपकरणहरू। , अक्सिडेशन, एपिटेक्सी, CVD, प्लाज्मा एचिङ, स्पटरिङ, आयन इम्प्लान्टेशन;भ्याकुम डिपोजिसन उपकरण, अप्टिकल फाइबर पिघलने, माइक्रो-प्रतिक्रिया उपकरण, मिश्रण र मिल्दो ग्यास प्रणाली, केशिका प्रवाह नियन्त्रण प्रणाली, ग्यास क्रोमेटोग्राफ र अन्य विश्लेषणात्मक उपकरणहरू।
MFC ले उच्च सटीकता, उत्कृष्ट दोहोरिने योग्यता, द्रुत प्रतिक्रिया, सफ्ट-स्टार्ट, राम्रो विश्वसनीयता, सञ्चालन दबावको विस्तृत विविधता (उच्च चाप र भ्याकुम अवस्थाहरूमा राम्रो सञ्चालन), सरल सुविधाजनक सञ्चालन, लचिलो स्थापना, स्वचालित रूपमा सञ्चालन गर्न पीसीसँग सम्भावित जडान ल्याउँछ। प्रयोगकर्ताहरूको प्रणालीमा नियन्त्रण।
IV।कसरी निर्धारण गर्ने र एफसँग व्यवहार गर्नेरोगहरु?
हाम्रो कम्पनीसँग व्यावसायिक बिक्री पछि इन्जिनियर छ, तपाईंलाई स्थापना र प्रयोगमा समस्याहरू समाधान गर्न मद्दत गर्न सक्छ।
पोस्ट समय: जुलाई-29-2022