A tömegáram-szabályozók (MFC) a gázok tömegáramának pontos mérését és szabályozását biztosítják.
I. Mi a különbség az MFC és az MFM között?
A tömegáram-mérő (MFM) egy olyan műszer, amely pontosan méri a gázáramot, és mérési értéke nem pontatlan a hőmérséklet vagy nyomás ingadozása miatt, és nem igényel hőmérséklet- és nyomáskompenzációt. A tömegáram-szabályozó (MFC) nem csak tömegáram-mérő funkcióval rendelkezik, de ami ennél is fontosabb, automatikusan tudja szabályozni a gázáramot, vagyis a felhasználó igényeinek megfelelően állíthatja be az áramlást, és az MFC automatikusan a beállított értéken tartja az áramlást, még akkor is, ha a rendszer nyomása A környezeti hőmérséklet ingadozása vagy változása nem eredményezi a beállított értéktől való eltérést.A tömegáram-szabályozó egy állandó áramlású eszköz, amely egy manuálisan beállítható vagy számítógéphez csatlakoztatva automatikusan vezérelhető gáz állandó áramlású eszköz.A tömegárammérők csak mérnek, de nem szabályoznak.A tömegáram-szabályozó szabályozószeleppel rendelkezik, amely a gázáramot mérni és szabályozni is tudja.
II.Mi a felépítése ésműködési elv?
1. Szerkezet
2. Működési elv
Amikor az áramlás belép a szívócsőbe, az áramlás nagy része az elválasztó csatornán halad át, amelynek egy kis része az érzékelő belsejében lévő kapilláris csőbe jut.Különleges szerkezetének köszönhetően
a terelőcsatorna, a gázáram két része egyenesen arányos lehet.Az érzékelő előmelegített és fűtött, és a belső hőmérséklet magasabb, mint a beszívott levegő hőmérséklete.Ekkor a gáz kis részének tömegáramát a kapilláriscső hőátadása és a hőmérséklet-különbség kalorimetria elve alapján mérjük.Az így mért gázáramlás figyelmen kívül hagyhatja a hőmérséklet és a nyomás hatásait.Az érzékelő által észlelt áramlásmérő jel bemenetre kerül az áramköri kártyára, felerősítve és kimenetre kerül, és az MFM funkciója befejeződik.PID zárt hurkú automatikus vezérlési funkció hozzáadása az áramköri laphoz, Hasonlítsa össze az érzékelő által mért áramlásmérő jelet a felhasználó által megadott beállított jellel.Ez alapján a szabályozószelepet úgy vezérlik, hogy az áramlásérzékelő jel megegyezzen a beállított jellel, így valósítható meg az MFC funkciója.
III.Alkalmazások és funkciók.
MFC, amelyet széles körben alkalmaznak a következő területeken: félvezető és IC gyártás, speciális anyagtudomány, vegyipar, benzinipar, gyógyszeripar, környezetvédelem és vákuumrendszerek kutatása stb. A tipikus alkalmazások a következők: mikroelektronikai folyamatberendezések, például diffúzió , oxidáció, epitaxia, CVD, plazmamarás, porlasztás, ionimplantáció;vákuumleválasztó berendezés, optikai szál olvasztása, mikroreakciós berendezés, keverő és illesztő gázrendszer, kapilláris áramlásszabályozó rendszer, gázkromatográf és egyéb analitikai műszerek.
Az MFC biztosítja a nagy pontosságot, a kiváló ismételhetőséget, a gyors reagálást, a lágy indítást, a jobb megbízhatóságot, a működési nyomás széles tartományát (jó működés nagy nyomású és vákuumban), az egyszerű és kényelmes kezelést, a rugalmas telepítést, a számítógéphez való csatlakoztatást az automatikus végrehajtáshoz a felhasználói rendszerhez.
IV.Hogyan határozzuk meg és kezeljük a fbetegségek?
Cégünk professzionális értékesítés utáni mérnökkel rendelkezik, aki segít megoldani a telepítési és használati problémákat.
Feladás időpontja: 2022. július 29