Οι ελεγκτές ροής μάζας (MFC) παρέχουν ακριβή μέτρηση και έλεγχο της ροής μάζας των αερίων.
I. Ποια είναι η διαφορά μεταξύ ενός MFC και ενός MFM;
Ο μετρητής ροής μάζας (MFM) είναι ένα είδος οργάνου που μετρά με ακρίβεια τη ροή αερίου και η τιμή μέτρησής του δεν είναι ανακριβής λόγω διακυμάνσεων στη θερμοκρασία ή την πίεση και δεν απαιτεί αντιστάθμιση θερμοκρασίας και πίεσης. Ο ελεγκτής ροής μάζας (MFC) όχι μόνο έχει τη λειτουργία ενός μετρητή ροής μάζας, αλλά το πιο σημαντικό, μπορεί να ελέγχει αυτόματα τη ροή αερίου, δηλαδή, ο χρήστης μπορεί να ρυθμίσει τη ροή σύμφωνα με τις ανάγκες του και το MFC διατηρεί αυτόματα τη ροή σταθερή στην καθορισμένη τιμή, ακόμη και αν η πίεση του συστήματος Οι διακυμάνσεις ή οι αλλαγές στη θερμοκρασία περιβάλλοντος δεν θα προκαλέσουν απόκλιση από την καθορισμένη τιμή.Ο ελεγκτής ροής μάζας είναι μια συσκευή σταθερής ροής, η οποία είναι μια συσκευή σταθερής ροής αερίου που μπορεί να ρυθμιστεί χειροκίνητα ή να ελεγχθεί αυτόματα μέσω σύνδεσης με υπολογιστή.Οι μετρητές μάζας μόνο μετρούν αλλά δεν ελέγχουν.Ο ελεγκτής ροής μάζας διαθέτει μια βαλβίδα ελέγχου, η οποία μπορεί να μετρήσει και να ελέγξει τη ροή αερίου.
II.Ποια είναι η δομή καιαρχή λειτουργίας;
1, Δομή
2, Αρχή Λειτουργίας
Όταν η ροή εισέρχεται στον σωλήνα εισαγωγής, το μεγαλύτερο μέρος της ροής διέρχεται από το κανάλι εκτροπής, ένα μικρό μέρος του οποίου εισέρχεται στον τριχοειδή σωλήνα μέσα στον αισθητήρα.Λόγω της ειδικής δομής του
το κανάλι εκτροπής, τα δύο μέρη της ροής αερίου μπορούν να είναι ευθέως ανάλογα.Ο αισθητήρας προθερμαίνεται και θερμαίνεται και η θερμοκρασία στο εσωτερικό είναι υψηλότερη από τη θερμοκρασία του αέρα εισόδου.Αυτή τη στιγμή, η ροή μάζας του μικρού μέρους του αερίου μετριέται με την αρχή της μεταφοράς θερμότητας από τον τριχοειδή σωλήνα και την αρχή της θερμιδομετρίας της διαφοράς θερμοκρασίας.Η ροή αερίου που μετράται με αυτόν τον τρόπο μπορεί να αγνοήσει τις επιπτώσεις της θερμοκρασίας και της πίεσης.Το σήμα μέτρησης ροής που ανιχνεύεται από τον αισθητήρα εισάγεται στην πλακέτα κυκλώματος και ενισχύεται και εξάγεται και η λειτουργία του MFM ολοκληρώνεται.Προσθέτοντας τη λειτουργία αυτόματου ελέγχου κλειστού βρόχου PID στην πλακέτα κυκλώματος, Συγκρίνετε το σήμα μέτρησης ροής που μετρήθηκε από τον αισθητήρα με το σήμα ρύθμισης που δόθηκε από τον χρήστη.Με βάση αυτό, η βαλβίδα ελέγχου ελέγχεται έτσι ώστε το σήμα ανίχνευσης ροής να είναι ίσο με το ρυθμισμένο σήμα, πραγματοποιώντας έτσι τη λειτουργία του MFC.
III.Εφαρμογές και χαρακτηριστικά.
MFC, το οποίο εφαρμόζεται ευρέως σε τομείς όπως: κατασκευή ημιαγωγών και IC, επιστήμη ειδικών υλικών, χημική βιομηχανία, βιομηχανία πετρελαίου, φαρμακευτική βιομηχανία, προστασία του περιβάλλοντος και έρευνα συστημάτων κενού, κ.λπ.. Οι τυπικές εφαρμογές περιλαμβάνουν: μικροηλεκτρονικό εξοπλισμό διεργασιών όπως διάχυση , οξείδωση, επιταξία, CVD, χάραξη πλάσματος, sputtering, εμφύτευση ιόντων.εξοπλισμός εναπόθεσης κενού, τήξη οπτικών ινών, εξοπλισμός μικροαντίδρασης, σύστημα αερίων ανάμειξης και αντιστοίχισης, σύστημα ελέγχου τριχοειδούς ροής, αέριος χρωματογράφος και άλλα αναλυτικά όργανα.
Το MFC προσφέρει υψηλή ακρίβεια, εξαιρετική επαναληψιμότητα, γρήγορη απόκριση, μαλακή εκκίνηση, καλύτερη αξιοπιστία, μεγάλη ποικιλία εύρος πίεσης λειτουργίας (καλή λειτουργία σε καταστάσεις υψηλής πίεσης και υποπίεσης), απλή βολική λειτουργία, ευέλικτη εγκατάσταση, δυνατότητα σύνδεσης με υπολογιστή για αυτόματη εκτέλεση έλεγχο στο σύστημα των χρηστών.
IV.Πώς να προσδιορίσετε και να αντιμετωπίσετε το fαρρώστια;
Η εταιρεία μας διαθέτει επαγγελματία μηχανικό μετά την πώληση, μπορεί να σας βοηθήσει να λύσετε προβλήματα στην εγκατάσταση και τη χρήση.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-29-2022