질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 가스의 질량 흐름을 정밀하게 측정하고 제어합니다.
I. MFC와 MFM의 차이점은 무엇입니까?
질량유량계(MFM)는 가스의 유량을 정확하게 측정하는 장치의 일종으로, 온도나 압력의 변동으로 인해 그 측정값이 부정확하지 않으며, 온도나 압력 보상이 필요하지 않습니다. 질량 유량계의 기능이 있지만 더 중요한 것은 가스 흐름을 자동으로 제어할 수 있다는 것입니다. 즉, 사용자가 필요에 따라 유량을 설정할 수 있으며 MFC는 자동으로 설정된 값에서 유량을 일정하게 유지합니다. 시스템 압력 주변 온도의 변동이나 변화로 인해 설정 값에서 벗어나지 않습니다.질량유량제어기는 정상유동장치(steady flow device)로 컴퓨터와 연결하여 수동으로 설정하거나 자동으로 제어할 수 있는 가스 정상유동 장치이다.질량 유량계는 측정만 할 뿐 제어할 수는 없습니다.질량 흐름 컨트롤러에는 가스 흐름을 측정하고 제어할 수 있는 제어 밸브가 있습니다.
II.구조는 무엇이며,작동 원리?
1、 구조
2, 작동 원리
흐름이 흡입 파이프로 들어갈 때 대부분의 흐름은 전환기 채널을 통과하며, 그 중 작은 부분이 센서 내부의 모세관으로 들어갑니다.특수한 구조로 인해
전환기 채널에서 가스 흐름의 두 부분은 정비례할 수 있습니다.센서는 예열 및 가열되며 내부 온도는 흡입 공기의 온도보다 높습니다.이때, 모세관에 의한 열전달 원리와 온도차 열량계의 원리를 이용하여 가스의 작은 부분의 질량유량을 측정한다.이러한 방식으로 측정된 가스 흐름은 온도와 압력의 영향을 무시할 수 있습니다.센서에 의해 감지된 유량 측정 신호는 회로 기판에 입력되어 증폭되어 출력되며 MFM의 기능이 완성됩니다.PID 폐쇄 루프 자동 제어 기능을 회로 기판에 추가하여 센서에서 측정한 유량 측정 신호와 사용자가 설정한 신호를 비교합니다.이를 바탕으로 유량 감지 신호가 설정된 신호와 동일하도록 제어 밸브를 제어하여 MFC의 기능을 구현합니다.
III.응용 프로그램 및 기능.
MFC는 반도체 및 IC 제조, 특수 재료 과학, 화학 산업, 석유 산업, 제약 산업, 환경 보호 및 진공 시스템 연구 등과 같은 분야에 널리 적용됩니다. 일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다: 확산과 같은 마이크로 전자 공정 장비 , 산화, 에피택시, CVD, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입;진공 증착 장비, 광섬유 용융, 미세 반응 장비, 혼합 및 매칭 가스 시스템, 모세관 흐름 제어 시스템, 가스 크로마토 그래프 및 기타 분석 장비.
MFC는 높은 정확도, 뛰어난 반복성, 빠른 응답, 소프트 스타트, 향상된 신뢰성, 다양한 작동 압력 범위(고압 및 진공 상황에서 우수한 작동), 간단하고 편리한 작동, 유연한 설치, PC와 연결하여 자동 수행 가능 사용자 시스템을 제어합니다.
IV.f를 결정하고 처리하는 방법ailures?
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게시 시간: 2022년 7월 29일