I. Mehaniki nasoslar
Mehaniki nasosyň esasy wezipesi, turbomolekulýar nasosyň işe başlamagy üçin zerur wakuumy üpjün etmekdir.Köplenç ulanylýan mehaniki nasoslar esasan worteks gury nasoslary, diafragma nasoslaryny we ýag bilen möhürlenen mehaniki nasoslary öz içine alýar.
Diafragma nasoslarynyň nasos tizligi pes we köplenç kiçi göwrümi sebäpli ownuk molekulýar nasos toplumlary üçin ulanylýar.
Nebit bilen möhürlenen mehaniki nasos geçmişde iň köp ulanylýan mehaniki nasos bolup, uly nasos tizligi we iň soňky vakuum bilen häsiýetlendirilýär, ýetmezçiligi nebitiň gaýdyp gelmeginiň umumy barlygy, aşa ýokary vakuum ulgamlarynda adatça solenoid klapan bilen enjamlaşdyrylmaly; (nebitiň gaýdyp gelmeginden dörän tötänleýin elektrik togunyň öňüni almak üçin) we molekulýar elek (adsorbsion täsiri).
Soňky ýyllarda has köp ulanylýan aýlaw gury nasosdyr. Artykmaçlygy ulanmak ýönekeý we nebite gaýdyp gelmeýär, diňe nasos tizligi we ahyrky vakuum nebit bilen möhürlenen mehaniki nasoslardan birneme erbetdir.
Mehaniki nasoslar laboratoriýada sesiň we titremäniň esasy çeşmesidir we pes ses nasosyny saýlap, mümkin boldugyça enjamlaryň arasynda ýerleşdirmek has gowudyr, ýöne iş aralygynyň çäklendirilmegi sebäpli ikinjisine ýetmek aňsat däl.
II.Turbomolekulýar nasoslar
Turbo molekulýar nasoslar, ugrukdyryjy gaz akymyna ýetmek üçin ýokary tizlikli aýlanýan awtoulaglara (adatça minutda 1000 öwrülişik) bil baglaýarlar.Nasosyň işleýiş basyşynyň giriş basyşyna bolan gatnaşygy gysyş gatnaşygy diýilýär.Gysyş gatnaşygy nasosyň basgançaklarynyň sany, tizligi we gazyň görnüşi bilen baglanyşykly, gazyň gysylmagynyň umumy molekulýar agramy birneme ýokary.Turbomolekulýar nasosyň iň soňky vakuumy, adatça, 10-9-10-10 mbar hasaplanýar we soňky ýyllarda molekulýar nasos tehnologiýasynyň yzygiderli ösmegi bilen ahyrky vakuum hasam gowulaşdy.
Turbomolekulýar nasosyň artykmaçlyklary diňe molekulýar akym ýagdaýynda amala aşyrylýar (gaz molekulalarynyň ortaça erkin diapazony kanalyň kesişiniň iň uly ululygyndan has köp bolan akym ýagdaýy), wakuum nasosy işleýiş basyşy 1-den 10-2 Pa çenli bolmaly.Furgonlaryň ýokary aýlanma tizligi sebäpli molekulýar nasos daşary ýurt jisimleri, jitter, täsir, rezonans ýa-da gaz zarbasy bilen zaýalanyp ýa-da ýok edilip bilner.Täze başlanlar üçin zyýanyň iň köp ýaýran sebäbi, iş säwlikleri sebäpli dörän gaz zarbasydyr.Molekulýar nasosyň zaýalanmagy mehaniki nasosyň döreýän rezonansy sebäpli hem bolup biler.Bu ýagdaý gaty seýrek, ýöne has mekir we aňsat tapylmaýandygy sebäpli aýratyn üns berilmegini talap edýär.
III.Ion nasosy
Tüýkürýän ion nasosynyň iş prinsipi, täze titanium filmini emele getirmek üçin katodyň titanium plastinkasyny bombalamak üçin Penning akymyndan emele gelen ionlary ulanmak, şeýlelik bilen işjeň gazlary özüne çekýär we inert gazlaryna belli bir gömmek täsirini ýetirýär. .Ion nasoslaryny dökmegiň artykmaçlyklary iň soňky vakuum, yrgyldy, ses, hapalanma, kämillik we durnukly proses, tehniki hyzmat we şol bir nasos tizliginde (inert gazlaryndan başga), olaryň bahasy molekulýar nasoslardan has arzan, ultra-ýokary vakuum ulgamlarynda gaty giňden ulanylýar.Adatça tüýdükli ion nasoslarynyň kadaly işleýiş sikli 10 ýyldan gowrak.
Ion nasoslary dogry işlemek üçin adatça 10-7 mbardan ýokary bolmaly (has erbet vakuumlarda işlemek olaryň ömrüni ep-esli azaldar) we şonuň üçin gowy wakuum üpjün etmek üçin molekulýar nasos toplumyny talap edýär.Esasy kamerada ion nasosy + TSP we giriş kamerasynda goýlan kiçijik molekulýar nasos ulanmak adaty zat.Bişirilende, birikdirilen klapany açyň we ownuk molekulýar nasos toplumy öňdäki wakuumy üpjün etsin.
Ion nasoslarynyň inert gazlaryny siňdirmäge ukyply däldigini we iň ýokary nasos tizliginiň molekulýar nasoslardan birneme tapawutlanýandygyny bellemelidiris, şonuň üçin uly göwrümli ýa-da köp mukdarda inert gazlary üçin molekulýar nasos toplumy zerurdyr.Mundan başga-da, ion nasosy iş wagtynda elektromagnit meýdany döredýär, bu aýratyn duýgur ulgamlara päsgel berip biler.
IV.Titan sublimasiýa nasoslary
Titan sublimasiýa nasoslary, himiki siňdiriş üçin kameranyň diwarlarynda titan filmini emele getirmek üçin metal titanyň bugarmagyna bil baglap işleýär.Titan sublimasiýa nasoslarynyň artykmaçlyklary ýönekeý gurluşyk, arzan bahaly, aňsat tehniki hyzmat, radiasiýa we yrgyldy sesi ýok.
Titan sublimasiýa nasoslary, adatça, 3 titan filamentinden durýar (ýanmagynyň öňüni almak üçin) we wodorodyň ajaýyp çykarylmagyny üpjün etmek üçin molekulýar ýa-da ion nasoslary bilen bilelikde ulanylýar.Olar 10-9-10-11 mbar aralygyndaky iň möhüm vakuum nasoslarydyr we ýokary vakuum derejesi zerur bolan aşa ýokary vakuum kameralarynyň köpüsine ýerleşdirilipdir.
Titan sublimasiýa nasoslarynyň ýetmezçiligi titanyň yzygiderli dökülmeginiň zerurlygydyr, wakuum tüýkürilende (birnäçe minutyň içinde) takmynan 1-2 sargyt bilen ýaramazlaşýar, şonuň üçin aýratyn zerurlyklary bolan käbir otaglar NEG-ni ulanmagy talap edýär.Şeýle hem, titana duýgur nusgalar / enjamlar üçin titanyň sublimasiýa nasosynyň ýerleşmezligi üçin seresap bolmaly.
V. Kriogen nasoslary
Kriogen nasoslar vakuum almak üçin esasan pes temperaturaly fiziki adsorbsiýa bil baglaýarlar, ýokary nasos tizliginiň artykmaçlygy, hapalanma we ýokary vakuum ýok.Kriogen nasoslaryň nasos tizligine täsir edýän esasy faktorlar temperatura we nasosyň üstki meýdanydyr.Uly molekulýar şöhle epitaksi ulgamlarynda ýokary vakuum talaplary sebäpli kriogen nasoslar giňden ulanylýar.
Kriogen nasoslaryň kemçilikleri suwuk azotyň köp sarp edilmegi we ýokary çykdajy.Gaýtadan işleýän çillerleri bolan ulgamlar suwuk azot sarp etmezden ulanylyp bilner, ýöne bu energiýa sarp etmegiň, titremäniň we sesiň degişli meselelerini getirýär.Şol sebäpli kriogen nasoslary adaty laboratoriýa enjamlarynda az ulanylýar.
VI.Aspirator nasoslary (NEG)
Sorujy serişde nasosy soňky ýyllarda has köp ulanylýan vakuum nasoslarynyň biridir, onuň artykmaçlygy himiki adsorbsiýany doly ulanmakdyr, bug örtügi we elektromagnit hapalanmasy ýok, köplenç molekulýar nasoslar bilen bilelikde titanyň sublimasiýa nasoslarynyň we tüýdük ionynyň ornuny tutýar. nasoslar, ýetmezçilik, wakuum durnuklylygy üçin ýokary talaplary bolan ýa-da elektromagnit meýdanlaryna aşa duýgur ulgamlarda ulanylýan ýokary çykdajyly we çäkli mukdarda täzelenişdir.
Mundan başga-da, aspirator nasosy başlangyç işjeňleşdirmeden başga goşmaça elektrik üpjünçiligi birikmesini talap etmeýändigi sebäpli, nasos tizligini ýokarlandyrmak we ulgamy netijeli ýönekeýleşdirip bilýän wakuum derejesini ýokarlandyrmak üçin köplenç uly ulgamlarda kömekçi nasos hökmünde ulanylýar.
Surat different Dürli nasoslar üçin iş basyşy.Goňur oklar iň ýokary rugsat berilýän iş basyşyny görkezýär we goýy ýaşyl bölekler umumy iş basyşyny görkezýär.
Iş wagty: Noýabr-18-2022