I. Pumpaichean meacanaigeach
Is e prìomh obair a’ phump meacanaigeach am falamh ro-ìre riatanach a thoirt seachad airson a’ phump turbomolecular a thòiseachadh.Am measg nam pumpaichean meacanaigeach as cumanta tha pumpaichean tioram vortex, pumpaichean diaphragm agus pumpaichean meacanaigeach seulaichte le ola.
Tha astar pumpaidh ìosal aig pumpaichean diaphragm agus mar as trice bidh iad air an cleachdadh airson seataichean pumpa moileciuil beaga air sgàth cho beag sa tha iad.
Is e am pumpa meacanaigeach seulaichte ola am pumpa meacanaigeach as motha a chleachdar san àm a dh’ fhalbh, air a chomharrachadh le astar pumpaidh mòr agus deagh fhalamhachadh deireannach, is e an ana-cothrom gu bheil tilleadh ola san fharsaingeachd, ann an siostaman falamh ultra-àrd mar as trice feumaidh iad a bhith uidheamaichte le falbhas solenoid (airson casg a chuir air fàilligeadh cumhachd tubaisteach air adhbhrachadh le tilleadh ola) agus criathar moileciuil (buaidh adsorption).
Anns na bliadhnachan mu dheireadh, is ann as motha a thathas a’ cleachdadh a’ phump tioram scrollaidh.
Tha pumpaichean meacanaigeach mar phrìomh thùs fuaim is crith anns an obair-lann agus tha e nas fheàrr pumpa fuaim ìosal a thaghadh agus a chuir eadar uidheamachd far a bheil sin comasach, ach gu tric chan eil an dàrna fear furasta a choileanadh air sgàth cuingealachaidhean astar obrach.
II.Pumpaichean turbomolecular
Bidh pumpaichean moileciuil turbo an urra ri vanes rothlach àrd-astar (mar as trice timcheall air 1000 tionndadh gach mionaid) gus sruthadh gas a choileanadh.Canar an co-mheas teannachaidh ris a’ cho-mheas eadar cuideam sgaoilidh a’ phump agus cuideam a-staigh.Tha an co-mheas teannachaidh co-cheangailte ris an àireamh de ìrean den phump, an astar agus an seòrsa gas, tha cuideam moileciuil coitcheann an teannachadh gas an ìre mhath àrd.Thathas den bheachd gu bheil am falamh mu dheireadh de phump turbomolecular mar 10-9-10-10 mbar, agus anns na bliadhnachan mu dheireadh, le adhartas leantainneach ann an teicneòlas pumpa moileciuil, tha am falamh mu dheireadh air a leasachadh tuilleadh.
Leis nach eil buannachdan pumpa turbomolecular air an toirt gu buil ach ann an staid sruthadh moileciuil (staid sruthadh anns a bheil an raon saor cuibheasach de mholacilean gas mòran nas motha na meud as motha de chrois-roinn duct), pumpa falamh ro-ìre. le cuideam obrachaidh de 1 gu 10-2 Pa a dhìth.Mar thoradh air astar àrd rothlach nan vanes, faodaidh am pumpa moileciuil a bhith air a mhilleadh no air a sgrios le nithean cèin, jitter, buaidh, ath-shuidheachadh no clisgeadh gas.Do luchd-tòiseachaidh, is e an adhbhar milleadh as cumanta clisgeadh gas air adhbhrachadh le mearachdan obrachaidh.Faodaidh milleadh air pumpa moileciuil cuideachd a bhith air adhbhrachadh le ath-shuidheachadh air a bhrosnachadh le pumpa meacanaigeach.Tha an suidheachadh seo gu math tearc ach tha feum air aire shònraichte oir tha e nas brùideil agus chan eil e furasta a lorg.
III.Sputtering ian pumpa
Is e prionnsapal obrach a’ phump ian sputtering a bhith a’ cleachdadh na h-ian a ghineadh leis an sgaoileadh Penning gus spreadhadh a dhèanamh air truinnsear titanium an catod gus film titanium ùr a chruthachadh, mar sin a’ sùghadh nan gasaichean gnìomhach agus a’ toirt buaidh adhlacaidh sònraichte air na gasaichean inert cuideachd. .Tha na buannachdan bho sputtering pumpaichean ian math falamh mu dheireadh, gun chrith, gun fhuaim, gun truailleadh, pròiseas aibidh is seasmhach, gun chumail suas agus aig an aon astar pumpaidh (ach a-mhàin gasaichean inert), tha a’ chosgais aca mòran nas ìsle na pumpaichean moileciuil, a tha gan dèanamh air an cleachdadh gu farsaing ann an siostaman falamh ultra-àrd.Mar as trice bidh an cearcall obrachaidh àbhaisteach de phumpaichean ian sputtering nas fhaide na 10 bliadhna.
Mar as trice feumaidh pumpaichean ian a bhith nas àirde na 10-7 mbar gus obrachadh gu ceart (le bhith ag obair aig vacuums nas miosa a’ lughdachadh am beatha gu mòr) agus mar sin feumaidh iad seata pumpa moileciuil gus falamhachd math ro-ìre a thoirt seachad.Tha e na chleachdadh cumanta pumpa ian + TSP a chleachdadh anns a’ phrìomh sheòmar agus pumpa beag moileciuil anns an t-seòmar a-staigh.Nuair a bhios tu a’ fuine, fosgail a’ bhalbhaid cuir a-steach ceangailte agus leig leis an t-seata pumpa moileciuil beag am falamh aghaidh a thoirt seachad.
Bu chòir a thoirt fa-near nach eil pumpaichean ian cho comasach air gasaichean inert a ghabhail a-steach agus gu bheil an astar pumpaidh as àirde aca beagan eadar-dhealaichte bho phumpaichean moileciuil, gus am bi feum air seata pumpa moileciuil airson meudan mòra a-muigh no meudan mòra de ghasaichean inert.A bharrachd air an sin, bidh am pumpa ian a ’gineadh raon electromagnetic rè obrachadh, a dh’ fhaodadh casg a chuir air siostaman sònraichte mothachail.
IV.Pumpaichean sublimation titanium
Bidh pumpaichean sublimation titanium ag obair le bhith an urra ri falmhachadh titanium meatailteach gus film titanium a chruthachadh air ballachan an t-seòmair airson cemisorption.Is e na buannachdan a tha aig pumpaichean sublimation titanium togail sìmplidh, cosgais ìosal, cumail suas gu furasta, gun rèididheachd agus gun fhuaim crathaidh.
Mar as trice bidh pumpaichean sublimation titanium air a dhèanamh suas de 3 filamentan titanium (gus casg a chuir air losgadh) agus bidh iad air an cleachdadh còmhla ri pumpaichean moileciuil no ian gus toirt air falbh hydrogen sàr-mhath.Is iad sin na pumpaichean falamh as cudromaiche anns an raon 10-9-10-11 mbar agus tha iad air an uidheamachadh anns a’ mhòr-chuid de sheòmraichean falamh fìor àrd far a bheil feum air ìrean falamh àrd.
Is e an eas-bhuannachd de phumpaichean sublimation titanium an fheum air titanium a spùtadh gu cunbhalach, bidh am falamh a’ dol sìos le timcheall air 1-2 òrdugh meudachd rè sputtering (taobh a-staigh beagan mhionaidean), agus mar sin feumaidh cuid de sheòmraichean le feumalachdan sònraichte NEG a chleachdadh.cuideachd, airson sampallan / innealan mothachail titanium, bu chòir cùram a ghabhail gus suidheachadh a’ phumpa sublimation titanium a sheachnadh.
V. Pumpaichean cryogenic
Bidh pumpaichean cryogenic gu mòr an urra ri sùghadh corporra aig teòthachd ìosal gus falamh fhaighinn, leis na buannachdan bho astar pumpaidh àrd, gun truailleadh agus falamh àrd.Is e na prìomh nithean a tha a’ toirt buaidh air astar pumpaidh pumpaichean cryogenic teòthachd agus farsaingeachd uachdar a’ phump.Ann an siostaman epitaxy giùlan mòr moileciuil, thathas a’ cleachdadh pumpaichean cryogenic gu farsaing air sgàth riatanasan àrd falamh.
Is e na h-eas-bhuannachdan a tha aig pumpaichean cryogenic caitheamh àrd de nitrigin leaghaidh agus cosgaisean obrachaidh àrd.Faodar siostaman le inneal-fuarachaidh ath-chuairteachaidh a chleachdadh gun a bhith ag ithe nitrigin leaghaidh, ach bheir seo na duilgheadasan co-fhreagarrach a thaobh caitheamh lùtha, crathadh agus fuaim.Air an adhbhar seo, chan eil pumpaichean cryogenic air an cleachdadh cho tric ann an uidheamachd obair-lann àbhaisteach.
VI.Pumpa aspirator (NEG)
Is e pumpa àidseant suidse aon de na pumpaichean falamh as motha a thathas a’ cleachdadh anns na bliadhnachan mu dheireadh, is e a ’bhuannachd a th’ aige làn chleachdadh de shùghadh ceimigeach, gun plating bhalbhaichean agus truailleadh electromagnetic, gu tric air a chleachdadh ann an co-bhonn ri pumpaichean moileciuil gus àite titanium sublimation pumpaichean agus sputtering ian a ghabhail. pumpaichean, is e an ana-cothrom an cosgais àrd agus àireamh cuibhrichte de ath-nuadhachadh, mar as trice air a chleachdadh ann an siostaman le riatanasan àrd airson seasmhachd falamh no gu math mothachail air raointean electromagnetic.
A bharrachd air an sin, leis nach fheum am pumpa aspirator ceangal solar cumhachd a bharrachd nas fhaide na a’ chiad ghnìomhachd, bidh e cuideachd air a chleachdadh gu tric ann an siostaman mòra mar phump cuideachaidh gus astar pumpaidh àrdachadh agus ìre falamh adhartachadh, a dh ’fhaodas an siostam a dhèanamh nas sìmplidhe gu h-èifeachdach.
Figear: Cuideam obrach airson diofar sheòrsaichean pumpaichean.Tha na saighdean donn a’ sealltainn an raon cuideam obrachaidh as àirde a tha ceadaichte agus tha na pàirtean uaine trom a’ sealltainn an raon cuideam obrach cumanta.
Ùine puist: Samhain-18-2022