Nga papu e whakamahia nuitia ana i roto i nga punaha korehau ultra-tiketike

I. Nga papu miihini
Ko te mahi matua o te papu miihini ko te whakarato i te waatea i mua i te atamira mo te tiimata o te papu turbomolecular.Ko nga papu miihini e whakamahia nuitia ana ko te nuinga o nga papu maroke vortex, nga papu diaphragm me nga papu miihini hiri hinu.
He iti te tere o nga papu diaphragm, ka whakamahia mo nga huinga papu ngota iti na te iti o te rahi.
Ko te papu miihini hiri-hinu te papu miihini tino whakamahia i mua, e tohuhia ana e te tere o te papu me te pai o te korehau mutunga, ko te ngoikoretanga ko te hokinga mai o te hinu, i roto i nga punaha korehau ultra-tiketike te tikanga me uru ki te riu solenoid. (mo te aukati i te korenga o te hiko ohorere i puta mai i te hokinga mai o te hinu) me te tatari ngota ngota (te painga whakauru).
I nga tau kua pahure ake nei, ko te nuinga ake o te whakamahi ko te panuku maroke papu.Ko te painga he ngawari ki te whakamahi me te kore e hoki mai ki te hinu, ko te tere o te pupuhi me te korehau mutunga he iti ake te kino atu i nga papu miihini hiri-hinu.
Ko nga papu miihini te puna nui o te haruru me te wiri i roto i te taiwhanga, he pai ake te kowhiri i te papu haruru iti me te whakanoho ki waenga i nga taputapu ka taea, engari he maha nga wa kaore i te ngawari te whakatutuki na te aukati i te tawhiti mahi.
II.Nga papu turbomolecular
Ko nga papu ngota ngota turbo e whakawhirinaki ana ki nga waahi hurihuri tere (te nuinga o te 1000 hurihanga ia meneti) ki te whakatutuki i te rerenga hau.Ko te ōwehenga o te pehanga pau o te papu ki te pehanga uru ka kiia ko te ōwehenga kōpeketanga.Ko te ōwehenga kōpeketanga e pā ana ki te maha o ngā wāhanga o te papu, te tere me te momo hau, te taumahatanga rāpoi whānui o te kōpeke hau he āhua teitei.Ko te marua whakamutunga o te papu turbomolecular e kiia ana ko te 10-9-10-10 mbar, a i nga tau tata nei, me te ahunga whakamua tonu o te hangarau papu molecular, kua pai ake te pai ake o te korehau mutunga.
I te mea ko nga painga o te papu turbomolecular ka kitea noa i roto i te ahua rerenga ngota (he ahua rere kei te nui ake te awhe noa o nga ngota ngota hau i te rahi o te waahanga whakawhiti), he papu korehau i mua i te atamira. me te pehanga whakahaere o 1 ki te 10-2 Pa e hiahiatia ana.Na te nui o te tere hurihuri o nga whao, ka pakaru, ka ngaro ranei te papu ngota i nga mea ke, te jitter, te paanga, te resonance, te ru hau ranei.Mo te hunga timata, ko te tino take o te kino ko te ru hau na te hapa whakahaere.Ko te pakaru o te papu ngota ka puta mai i te resonance i puta mai i te papu miihini.He onge noa tenei ahuatanga engari me aro nui na te mea he hianga ake, kaore e kitea.

III.Te pupuhi katote papu
Ko te kaupapa mahi o te papu katote katote ko te whakamahi i nga katote i hangaia e te rerenga o Penning ki te pupuhi i te pereti titanium o te cathode ki te hanga i tetahi kiriata titanium hou, na reira ka uru ki nga hau hohe me te whai paanga o te urupa ki nga hau koretake. .Ko nga painga o te pupuhi katote papu he pai te korehau mutunga, kaore he wiri, kare he haruru, kare he poke, he mahinga pakeke me te pumau, kaore he tiaki me te tere o te pupuhi (haunga mo nga hau inert), he iti rawa atu to raatau utu i nga papu ngota, e tino whakamahia ana i roto i nga punaha korehau ultra-tiketike.I te nuinga o te waa neke atu i te 10 tau te huringa mahi noa o nga papu katote pupuhi.
Ko nga papua katote te tikanga me neke ake i te 10-7 mbar kia pai ai te mahi (ko te mahi i nga waahi kino kino ka tino whakaiti i te oranga) na reira me tono he huinga papu ngota hei whakarato i te pai o mua o te atamira.He mahi noa ki te whakamahi i te papu katote + TSP i roto i te ruma matua me te papu ngota iti kei roto i te ruma uru.I te wa e tunu ana, whakatuwherahia te paera whakauru hono ka waiho ma te huinga papu ngota iti e whakarato i te korehau o mua.
Me tohu ko nga papu katote he iti ake te kaha ki te whakauru i nga hau koretake me te tino rereke o te tere o te papu i tera o nga papua rapoi, na reira mo te nui o te katote katoo, te nui ranei o nga hau koretake, ka hiahiatia he huinga papu ngota.I tua atu, ka hangaia e te papu katote he mara hiko i te wa e mahi ana, ka raru pea nga punaha tairongo.
IV.Nga papu whakaheke Titanium
Ka mahi nga papu whakaheke titanium ma te whakawhirinaki ki te whakaetonga o te titanium konganuku hei hanga i te kiriata titanium i runga i nga pakitara ruma mo te chemisorption.Ko nga painga o nga papu whakaheke titanium he hanga ngawari, he iti te utu, he ngawari te tiaki, kaore he radiation me te haruru wiri.
E 3 nga kakawaua Titanium (hei aukati i te wera) ka whakamahia tahi me nga ngota ngota, katote ranei hei tango hauwai pai.Ko ratou nga papua korehau tino nui i roto i te awhe 10-9-10-11 mbar ka whakauruhia ki roto i te nuinga o nga ruma korehau ultra-tiketike e hiahiatia ana nga taumata korehau teitei.
Ko te ngoikoretanga o nga papua titanium sublimation ko te hiahia mo te pupuhi i nga wa katoa o te titanium, ka heke te korehau ma te 1-2 ota nui i te wa e pupuhi ana (i roto i etahi meneti), na reira ko etahi o nga ruma me nga hiahia motuhake me whakamahi te NEG.hoki, mo titanium tairongo tauira / taputapu, kia tangohia tiaki ki te karo i te wāhi o te titanium sublimation papu.
V. Nga papu cryogenic
Ko nga papu Cryogenic te nuinga e whakawhirinaki ana ki te iti o te pāmahana tinana ki te whiwhi korehau, me nga painga o te tere tere papu, kaore he parahanga me te korehau mutunga.Ko nga mea matua e pa ana ki te tere o te pupuhi o nga papua cryogenic ko te pāmahana me te waahi mata o te papu.I roto i nga punaha epitaxy kurupae kurupae nui, ka whakamahia nga papu cryogenic na te nui o nga whakaritenga korehau.
Ko nga ngoikoretanga o nga papua cryogenic ko te nui o te kohi o te hauota wai me nga utu whakahaere nui.Ka taea te whakamahi i nga punaha me te whakamaroo hurihuri me te kore e pau te hauota wai, engari ka mau mai nga raru e pa ana ki te whakapau kaha, te wiri me te haruru.Mo konei, he iti ake te whakamahia o nga papu cryogenic ki nga taputapu taiwhanga tikanga.
VI.Nga papu aspirator (NEG)
Ko te papu kaihoko momi ko tetahi o nga papua korehau e whakamahia ana i roto i nga tau tata nei, ko tona painga ko te tino whakamahi o te whakauru matū, kaore he whakakikorua kohu me te parahanga hiko, he maha nga wa e whakamahia ana i te taha o nga papu rapoi ki te tango i te waahi o te titanium sublimation papu me te katote sputtering. papua, ko te kino ko te utu nui me te iti o te maha o nga whakahoutanga, te nuinga o te waa e whakamahia ana i roto i nga punaha he nui nga whakaritenga mo te pumau o te korehau, he tino tairongo ranei ki nga mara hiko.
I tua atu, i te mea kaore e hiahiatia e te papu aspirator tetahi hononga taapiri hiko i tua atu i te whakahohenga tuatahi, ka whakamahia hoki i roto i nga punaha nui hei papu awhina ki te whakanui ake i te tere o te pupuhi me te whakapai ake i te taumata korehau, ka taea te whakaiti i te punaha.

Whakaahua: Nga pehanga mahi mo nga momo papu.Ko nga pere parauri e whakaatu ana i te nui rawa o te awhe pehanga whakahaere e whakaaetia ana me nga waahanga kaakaariki kua maia e whakaatu ana i te awhe pehanga mahi noa.