EV 시리즈 터보 분자 펌프

입구 플랜지(mm)

400 ISO-K

출구 플랜지(mm)

100 ISO-K

펌핑 속도(L/S)

3600

압축비

N²

>10⁸

H²

>5X10²

최종 압력(Pa)

<2X10^-6

정격 속도(rpm)

13500

진동

0.15μm 이하

시작 시간(분)

<11

정지 시간(분)

<20

추천 로터리 펌프

30-70L/S

냉각방식

수냉식

수냉온도(℃)

≤25

수냉 유량(L/min)

2

펌프 본체 베이킹 온도

<120℃

설치 모드

수직 ±5°

무게(kg)

100