EVDL-10A 水晶発振器真空計
1.製品概要
EVDL-10A 水晶真空計は、水晶振動子をセンサーとした真空計です。広範囲かつ高精度です。真空計は調整部と制御部から構成されており、制御部のデジタル管が圧力値を表示します。
2.技術仕様
1. 測定範囲：5×10-1-105Pa
2.電源：AC220V、50Hz
3. 電力：7W
4.シャーシ寸法：180mm×80mm×200mm（L*W*D）
5.ケーブル長2m
3.動作原理
EVDL-10A 水晶真空計は、水晶振動子の共振インピーダンスとガス圧力の特性を利用して作られた真空計です。EVDL-10A 水晶真空計の水晶振動子は発振器の構成部品であるだけでなく、ガス圧力を測定するセンサーとしても機能します。水晶振動子はアルミニウムのシェルに取り付けられ、直径15.5mmのゲージパイプを作成し、インターフェースを介してシステムに挿入できます。共振インピーダンスの測定回路を図 1 に示します。
図1 共振インピーダンス測定回路
共振インピーダンス Z= V AB
VAB水晶両端の電圧です
I は水晶を流れる電流です
電流 I は水晶と直列の抵抗 R を流れ、抵抗の両端の電圧は VBD になります。
∴I = V BD
Z=VABR
VABは電圧 V にほぼ等しい0AC両端のVBDは電圧Vにほぼ等しい1DC 両端間のインピーダンスは、測定された V から計算できます。0、V1そして抵抗値。シングルチップマイコンがインピーダンスを圧力に変換し、デジタルチューブが圧力値を表示します。
4.石英真空計の特徴
石英真空計はセンサー体積が小さいのが特徴です。EVDL-10A水晶真空計の水晶振動サイズは3.2mm×1.5mm×0.8mmです。このように、真空計は他の真空計と同様にガス圧力を測定するだけでなく、1cm3サイズの密閉デバイスなどの微小体積のガス圧力を測定し、真空保持状態を検出することができます。
5.EVDL-10A 石英真空計の取り付け
EVDL-10A 石英真空計の取り付けを図 2 に示します。
水晶振動子と発振回路はプローブ内に配置されています。コントロールユニット後面のソケットに5ピンプラグを介してリード線を挿入し、プローブ径Φ15.5のパイプを真空系に挿入します。電源ケーブルをコントロールユニットの背面パネルのソケットに差し込み、もう一方の端を電源コンセントに差し込みます。電源コンセントには、コントロール ユニット シャーシを接地するためのアース線が必要です。電源スイッチを入れると、コントロールユニットのデジタル管に圧力値が表示されます。デジタルチューブ表示 3.2 E 2 は圧力値が 3.2×102Pa であることを意味します。
6.水晶真空計の校正
周囲温度が変化した場合、EVDL-10A は次のように校正する必要があります。
1. ゼロ点調整: 機械が 30 分間安定した後、圧力が 10-3Pa 未満になったら、ドライバーでコントロール ユニットのフロント パネルのゼロ穴のボタンを押してボタンを解除します。真空系が10-3Paに達していないとゼロボタンを押すことができません。
2. 大気規制：大気を規制にさらし、コントロールユニット前面パネルの大気穴のボタンをドライバーで押して解除します。
