Vakuové měřidlo EVDL-10A Quartz Oscilátor
1. Přehled produktů
EVDL-10A quartzový vakuoměr je vakuoměr s křemenným krystalovým oscilátorem jako senzorem.Má široký rozsah a vysokou přesnost.Vakuoměr se skládá z regulační a řídicí jednotky a digitální trubice řídicí jednotky zobrazuje hodnotu tlaku.
2.Technické specifikace
1. Rozsah měření：5×10-1-105Pa
2. Napájení: AC 220V, 50Hz
3. VÝKON: 7W
4. Rozměry podvozku: 180 mm × 80 mm × 200 mm (D*Š*H)
5. Délka kabelu 2m
3. Princip práce
Křemenný vakuoměr EVDL-10A je vakuoměr vyrobený s využitím charakteristik rezonanční impedance křemenného krystalového oscilátoru a tlaku plynu.Křemenný krystalový oscilátor v křemenném vakuometru EVDL-10A je nejen součástí oscilátoru, ale také snímačem pro měření tlaku plynu.Křemenný krystalový oscilátor je instalován v hliníkovém plášti pro vytvoření kalibrační trubky o průměru 15,5 mm, kterou lze vložit do systému přes rozhraní.Měřící obvod rezonanční impedance je znázorněn na obrázku 1：
Obrázek 1 Obvod pro měření rezonanční impedance
Rezonanční impedance Z= V AB
VABje napětí na krystalu
I je proud protékající krystalem
Proud I protéká rezistorem R v sérii s krystalem a napětí na rezistoru je VBD
∴ I = V BD
Z=V AB R
VABse přibližně rovná napětí V0přes AC se VBD přibližně rovná napětí V1přes DC a impedanci lze vypočítat z naměřeného V0, V1a hodnoty odporu.Jednočipový mikropočítač převádí impedanci na tlak a digitální trubice zobrazuje hodnotu tlaku.
4.Charakteristika křemenného vakuometru
Quartzový vakuoměr se vyznačuje malým objemem senzoru.Velikost vibrací krystalu quartzového vakuometru EVDL-10A je 3,2 mm × 1,5 mm × 0,8 mm.Tímto způsobem, kromě měření tlaku plynu jako jiné vakuoměry, může vakuoměr měřit tlak plynu malého objemu, jako je utěsněné zařízení o velikosti 1 cm3, a detekovat stav udržování vakua.
5. Instalace Quartz vakuometru EVDL-10A
Instalace křemenného vakuometru EVDL-10A je znázorněna na obrázku 2:
Oscilátor z křemenného krystalu a oscilační obvod jsou umístěny v sondě.Přívodní kabel se zasune do zdířky zadního panelu řídicí jednotky přes 5pólovou zástrčku a trubka o průměru sondy Φ15,5 se zasune do vakuového systému.Zapojte napájecí kabel do zásuvky na zadním panelu řídicí jednotky a druhý konec zapojte do elektrické zásuvky.Elektrická zásuvka by měla mít zemnící vodič pro uzemnění šasi řídicí jednotky.Zapněte hlavní vypínač a digitální trubice řídicí jednotky zobrazí hodnotu tlaku.Digitální trubicový displej 3,2 E 2 znamená hodnotu tlaku 3,2 × 102 Pa.
6. Quartzová kalibrace vakuometru
Při změně okolní teploty by měl být EVDL-10A kalibrován následovně:
1. Nastavení nulového bodu: Poté, co je stroj půl hodiny stabilní, když je tlak menší než 10-3Pa, uvolněte šroubovákem tlačítko v nulovém otvoru předního panelu řídicí jednotky.Pokud vakuový systém nedosáhne 10-3Pa, nulové tlačítko nelze stisknout.
2. Atmosférická regulace: Vystavte atmosféru regulaci, uvolněte ji stisknutím tlačítka v atmosférickém otvoru předního panelu řídící jednotky šroubovákem.
