Vakuumska črpalka Roots serije ZJ

Vakuumska črpalka Roots serije ZJ

Te serije Rootsovih vakuumskih črpalk ni mogoče uporabljati samostojno.Uporabiti ga je treba zaporedno s predstopenjsko vakuumsko črpalko, da se poveča hitrost črpanja predstopenjske vakuumske črpalke, ko je tlak nižji od 1,3×103~1,3×10-1 Pa. Struktura je sestavljena iz dveh 8 -oblikovanih odsekov rotorja in ohišja rotorja, oba rotorja pa se med seboj ne dotikata in se med seboj sinhronizirano vrtita v nasprotnih smereh.

Vakuumske črpalke Roots serije ZJ se uporabljajo predvsem za:

PVD prevleka, magnetronsko razprševanje, ionska prevleka, optična prevleka itd.;

Monokristalna peč, polikristalna peč, peč za sintranje, peč za žarjenje, peč za kaljenje itd.;

Vakuumsko sušenje, sušenje z zamrzovanjem, sistem za odkrivanje puščanja, sistem za rekuperacijo plina, vbrizgavanje tekočih kristalov itd.;

Vakuumska industrija, kot so hladilniki, gospodinjske klimatske naprave, centralne klimatske naprave, avtomatske evakuacijske linije za osvetlitev ozadja in izpušna oprema.