Вакуумна помпа Roots от серия ZJ

Вакуумна помпа Roots от серия ZJ

Тази серия вакуумни помпи тип Roots не може да се използва самостоятелно.Необходимо е да се използва последователно с вакуумната помпа с предварително стъпало, за да се увеличи скоростта на изпомпване на вакуумната помпа с предварително стъпало, когато налягането е по-ниско от 1,3×103~1,3×10-1 Pa. Структурата се състои от две 8 -образни роторни секции и корпус на ротора, като двата ротора не контактуват един с друг и се въртят в противоположни посоки в синхрон един с друг.

Вакуумните помпи Roots от серията ZJ се прилагат главно за:

PVD покритие, магнетронно разпрашване, йонно покритие, оптично покритие и др.;

Единична кристална пещ, поликристална пещ, пещ за синтероване, пещ за отгряване, пещ за охлаждане и др.;

Вакуумно сушене, сушене чрез замразяване, система за откриване на течове, система за възстановяване на газ, инжектиране на течни кристали и др.;

Вакуумна индустрия като хладилници, битови климатици, централни климатици, автоматични евакуационни линии за задно осветяване и изпускателно оборудване.