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진공펌프는 밀폐된 공간에 다양한 방법으로 진공을 발생, 개선, 유지하는 장치입니다.진공 펌프는 진공을 얻기 위해 펌핑되는 용기를 펌핑하기 위해 기계적, 물리적, 화학적 또는 물리화학적 방법을 사용하는 장치 또는 장비로 정의될 수 있습니다.진공 응용 분야가 발전함에 따라 펌핑 속도가 초당 몇 리터에서 초당 수십만, 수백만 리터에 이르는 광범위한 진공 펌프가 개발되었습니다.최종 압력(극한 진공)의 범위는 거친 진공부터 10-12 Pa 이상의 매우 높은 진공까지입니다.

진공의 분할
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진공 펌프의 분류

진공 펌프의 작동 원리에 따라 진공 펌프는 기본적으로 가변 용량 진공 펌프와 운동량 전달 펌프의 두 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.가변용량 진공펌프는 펌프실 체적의 주기적 변화를 이용하여 펌핑 목적으로 흡입 및 토출을 수행하는 진공 펌프입니다.가스는 펌프실에서 배출되기 전에 압축됩니다.운동량 전달 펌프(분자 진공 펌프)는 고속 회전 날개 또는 고속 제트를 사용하여 운동량을 가스 또는 가스 분자에 전달하여 가스가 펌프 입구에서 출구로 지속적으로 전달되도록 합니다.(별도의 단락 소개) 가변 용량 진공 펌프는 왕복식, 회전식(회전 날개, 슬라이드 밸브, 액체 링, 루트, 나선형, 클로 로터), 기타 유형으로 구분됩니다.

모든 유형의 진공 펌프에 대한 작동 압력 범위

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게시 시간: 2022년 11월 2일