پمپ خلاء دستگاهی است که با روش های مختلف خلاء را در یک فضای بسته تولید، بهبود و حفظ می کند.پمپ خلاء را می توان به عنوان دستگاه یا تجهیزاتی تعریف کرد که از روش های مکانیکی، فیزیکی، شیمیایی یا فیزیکوشیمیایی برای پمپاژ مخزن پمپاژ شده برای به دست آوردن خلاء استفاده می کند.با توسعه کاربردهای خلاء، طیف گسترده ای از پمپ های خلاء با نرخ پمپاژ از چند لیتر در ثانیه تا صدها هزار و میلیون لیتر در ثانیه توسعه یافته است.فشار نهایی (خلاء نهایی) از خلاء خشن تا خلاءهای بسیار زیاد بالای 10-12 Pa است.
تقسیم خلاء
طبقه بندی پمپ های خلاء
با توجه به اصل کار پمپ های خلاء، پمپ های خلاء را می توان به دو نوع پمپ خلاء با حجم متغیر و پمپ های انتقال حرکت تقسیم کرد.پمپ خلاء با حجم متغیر یک پمپ خلاء است که از تغییر چرخه ای حجم محفظه پمپ برای انجام مکش و تخلیه برای اهداف پمپاژ استفاده می کند.گاز قبل از تخلیه از محفظه پمپ فشرده می شود.پمپ‌های انتقال مومنتوم (پمپ‌های خلاء مولکولی) برای انتقال تکانه به گاز یا مولکول‌های گاز به پره‌های دوار با سرعت بالا یا جت‌های پرسرعت متکی هستند تا گاز به طور مداوم از ورودی پمپ به خروجی منتقل شود.(مقدمه پاراگراف جداگانه) پمپ های خلاء با حجم متغیر به دو دسته تقسیم می شوند: رفت و برگشتی، دوار (پره دوار، شیر کشویی، حلقه مایع، ریشه، مارپیچ، روتور پنجه ای)، انواع دیگر.
محدوده فشار کاری برای انواع پمپ های خلاء
زمان ارسال: نوامبر-02-2022