密閉容器内の気体を排出したり、容器内の気体分子の数を減少させ続けることができる装置は、通常、真空取得装置または真空ポンプと呼ばれます。真空ポンプの動作原理によれば、真空ポンプは基本的にガス移送ポンプとガストラップポンプの2種類に分類できます。
ガス移送ポンプ
ガス移送ポンプは、ポンピング目的でガスを連続的に吸引および排出できる真空ポンプです。
1) 可変容量真空ポンプ
可変容積真空ポンプは、ポンプ室容積の周期的変化を利用して吸入と吐出のプロセスを完了する真空ポンプです。ガスは圧縮されて吐出され、ポンプには往復式と回転式の 2 種類があります。
上の表のロータリー真空ポンプには、さらに次のタイプもあります。
上表の油封式真空ポンプは、その構造上の特徴によりさらに次の5種類に分類されます。
2) 運動量移送ポンプ
このタイプのポンプは、高速回転羽根または高速ジェットに依存してガスまたはガス分子に運動量を伝達し、ガスがポンプの入口から出口まで連続的に移動します。以下の種類に分類できます。
| タイプ | 意味 | 分類 |
| 分子真空ポンプ | ローターを高速回転させてエネルギーを気体分子に伝え、圧縮・排気する真空ポンプです。 | 牽引分子ポンプ:気体分子は高速で動くローターと衝突することで運動量を得て出口へ送られるため、運動量伝達ポンプとなります。 |
| ターボ分子ポンプ:ポンプには、スロット付きディスク、またはステーター ディスク (またはステーター ブレード) の間で回転するベーンを備えたローターが装備されています。ローター外周部の線速度が高い。このタイプのポンプは通常、分子流状態で動作します。 | ||
| 複合分子ポンプ：タービン型とトラクション型の2種類の分子ポンプを直列に組み合わせた複合型分子真空ポンプです。 | ||
| ジェット真空ポンプ | ベンチュリ効果の圧力降下によって生成された高速ジェットを使用してガスを出口に移送する運動量移送ポンプであり、粘性流および遷移流条件での動作に適しています。 | 液体ジェット真空ポンプ:作動媒体として液体（通常は水）を使用するジェット真空ポンプ |
| ガスジェット真空ポンプ:作動媒体として非凝縮性ガスを使用するジェット真空ポンプ | ||
| ベーパージェット真空ポンプ:作動媒体として蒸気（水、油、水銀蒸気など）を使用するジェット真空ポンプ | ||
| 拡散ポンプ | 低圧、高速の蒸気流（石油や水銀などの蒸気）を作動媒体とするジェット真空ポンプです。ガス分子は蒸気ジェット内に拡散し、出口に送られます。ジェット内のガス分子の密度は常に非常に低く、ポンプは分子流状態での動作に適しています。 | 自己浄化拡散ポンプ:ポンプ流体中の揮発性不純物をボイラーに戻さずに特殊な機械によって出口まで輸送する油拡散ポンプ |
| 分別拡散ポンプ:このポンプは分別装置を備えており、高真空作業では蒸気圧の低い作動流体蒸気がノズルに流入し、低真空作業では蒸気圧の高い作動流体蒸気がノズルに流入する多段オイルです。拡散ポンプ | ||
| 拡散ジェットポンプ | 拡散ポンプの特性を備えた単段または多段ノズルと、ジェット真空ポンプの特性を備えた単段または多段ノズルを直列に接続して運動量伝達ポンプを形成します。オイルブースターポンプはこのタイプです | なし |
| イオン移送ポンプ | 電磁場または電場の作用下でイオン化ガスを出口に運ぶ運動量移動ポンプです。 | なし |
ガストラップポンプ
このタイプのポンプは、ガス分子をポンプ内面に吸着または凝縮させて容器内のガス分子の数を減らし、ポンピングの目的を達成する真空ポンプであり、いくつかのタイプがあります。
生産および科学研究の分野での真空用途では、ますます幅広い適用圧力が必要になるため、そのほとんどでは、生産および科学研究プロセスの要件を満たすために、一緒に排気する真空ポンプ システムを形成するために複数の真空ポンプが必要です。排気に異なる種類の真空ポンプを使用するケースが増えています。これを容易にするためには、これらのポンプの詳細な分類を知る必要があります。
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投稿時間: 2022 年 12 月 2 日