Akış göstergesi ve akış entegre cihazı

Kısa Açıklama:

Akış göstergesi ve akış entegre cihazı, tek kanala bölünmüş olan Kütle Akış Kontrol Cihazı (MFC) ve Kütle Akış Ölçer (MFM), çalışma güç kaynağı, çalışma kontrolü, akış ayarı, akış rakamları ekranı, akış birikimi vb. sağlamak için kullanılır. ve çok kanallı.Çok kanallı akış göstergesi, ayrı ayrı çalışabilen çok sayıda MFC/MFM ile donatılabilir.