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단일 스테이지 회전 날개 진공 펌프와 이중 스테이지 회전 날개 진공 펌프의 차이점은 무엇입니까?

로터리 베인 진공 펌프가변 용적 진공 펌프는 펌프실 내에서 회전하는 바이어스 로터가 장착된 진공 펌프로 회전 날개로 분리된 펌프실 챔버의 부피를 주기적으로 변화시켜 공기 추출을 달성하는 진공 펌프입니다.회전 날개 진공 펌프는 단일 단계 회전 날개 진공 펌프와 2단 회전 날개 진공 펌프로 구분됩니다.둘 사이의 차이점은 무엇입니까?

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단일 단계 회전 날개 진공 펌프와 비교하여 이중 단계 회전 날개 진공 펌프는 구조적으로 직렬로 연결된 2개의 단일 단계 펌프로 구성됩니다.따라서 단일 단계 회전 날개 진공 펌프에는 작업 챔버가 하나만 있는 반면, 2개의 단일 단계 펌프에 의해 직렬로 연결된 2단 회전 날개 진공 펌프는 당연히 전후에 직렬로 연결되어 회전하는 2개의 작업 챔버로 구성됩니다. 같은 방향으로 같은 속도로.따라서 더 높은 진공 수준을 달성합니다.2단계 진공 펌프는 더 낮은 압력에서 작동할 수 있으며 일반적으로 진공도 0.1mbar에 도달합니다.동시에 2단 로터리 베인 진공 펌프의 효과적인 분류 효과로 인해 저압(1Torr 미만) 작업에 더 적합합니다.

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작동 원리 측면에서 2단 회전 날개 진공 펌프와 1단 회전 날개 진공 펌프 사이에는 차이가 없습니다.구조적 형태 측면에서 2단 로터리 베인 진공 펌프의 배기 압축비는 1단 로터리 베인 펌프보다 높습니다.따라서, a의 최종 진공도는이중 스테이지 로터리 베인 진공 펌프a보다 높다단일 단계 로터리 베인 진공 펌프, 그러나 단일 스테이지 로터리 베인 진공 펌프보다 가격이 더 비쌉니다.

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게시 시간: 2023년 8월 17일