ロータリーベーン真空ポンプ可変容積真空ポンプに属します。これは、ポンプ室内で回転するバイアスローターを備えた真空ポンプであり、回転翼によって分離されたポンプチャンバーチャンバーの容積に周期的な変化を引き起こし、空気の抽出を実現します。ロータリーベーン真空ポンプは、単段ロータリーベーン真空ポンプと二段ロータリーベーン真空ポンプに分けられます。両者の違いは何ですか?
単段ロータリーベーン真空ポンプと比較して、二段ロータリーベーン真空ポンプは、直列に接続された 2 つの単段ポンプで構造的に構成されています。したがって、単段ロータリーベーン真空ポンプには作動室が 1 つしかありませんが、2 つの単段ポンプを直列に接続した二段ロータリーベーン真空ポンプには、当然、回転する前後に直列に接続された 2 つの作動室が構成されます。同じ方向に同じ速度で。したがって、より高い真空レベルが達成されます。二段真空ポンプはより低い圧力で動作でき、通常は 0.1 mbar の真空度に達します。同時に、2 段ロータリーベーン真空ポンプの効果的な分別効果により、低圧 (1 Torr 以下) での作業にさらに適しています。
動作原理の点では、二段ロータリーベーン真空ポンプと単段ロータリーベーン真空ポンプの間に違いはありません。二段ロータリーベーン真空ポンプは、構造的に単段ロータリーベーンポンプに比べて排気圧縮比が高くなります。したがって、到達真空度は二段ロータリーベーン真空ポンプより高いです単段ロータリーベーン真空ポンプ、ただし、単段ロータリーベーン真空ポンプよりも高価です。
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投稿日時: 2023 年 8 月 17 日