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分子ポンプの特性と一般的なトラブルシューティング

分子ポンプは、高速ローターを使用して気体分子に運動量を伝達し、方向性の速度を獲得して圧縮され、排気ポートに向かって駆動され、前段に向けて送り出される真空ポンプです。

 特徴

名前

特徴

オイル潤滑分子ポンプ 潤滑油量が少なく、前段真空部で真空チャンバーの汚れが少ない
グリース潤滑分子ポンプ 極めて少量のオイルとグリース、ドライポンプを備えた前段でオイルフリーに近いクリーンな真空を実現
完全磁気浮上分子ポンプ 無給油、ドライポンプとの併用でオイルフリーのクリーンな真空環境を実現

よくある故障とその対処方法

1、分子ポンプではなぜ半分熱く半分冷たい現象が起こるのでしょうか?

理由:光やその他の熱源が近くにある
解決策:光や熱源を避ける

2、分子ポンプの使用中にオイルが黒いことがわかりました。それともオイルが黒くなるまでどれくらいかかりますか?

原因:冷却不良、負荷過多
解決策:冷却系や真空系の点検

3、分子ポンプの動作中、周波数は正常から一定の周波数まで低下し、その後正常に戻り、その後一定の周波数まで低下し、その後正常に戻ることを繰り返し、分子ポンプを交換しても現象は変わりません。電源?

理由:負荷が大きすぎる、システム内の真空度が不足している
解決策:システムを確認する

4、保護ネットで保護されていたにもかかわらず、ポンプ内に大きなガラスの破片が落ちたのはなぜですか?

原因:保護グリル破損、前段パイプ破損
ソリューション:最適なシステム設計

5、真空度が非常に良いときに分子ポンプオイルが前段配管に戻るのはなぜですか?

原因:オイルパンの破損または密閉不良
解決策:オイルパンの点検

6、通常の使用において、分子ポンプオイルセルに亀裂や変形が生じるのはなぜですか

原因:過熱、高負荷
解決策:冷却システムをチェックするか、システムをチェックしてください

7、M5トップワイヤー等の分子ポンプからトップワイヤーやダボなどの物体がよく落ちますが、分子ポンプの使用に影響はありますか?どのように解決すればよいでしょうか?

A: これは時折起こるもので、おそらく天秤のペグがなくなっているため、分子ポンプには影響しません。

8、ゴムリング口分子ポンプを安全に使用するには、何個のキャリパーを使用する必要がありますか?
A: 特別な制限はありません。フランジ サイズ 3、6、12、24 などに応じて少なくとも 3 つです。

9、インバータ電源はどのような状況でプログラムの消失やズレを引き起こすのでしょうか?
A: ①電圧の不安定性 ②強い干渉 ③高電圧の発火 ④人為的な復号化

10、ノイズ分子ポンプはどのように定義されますか?適格な基準はありますか?それは何ですか?
A: 72db 未満合格、騒音レベルを定義するのは簡単ではない、特別な機器と特別なテスト環境が必要

11、分子ポンプには冷却に関する明確な要件がありますか?空冷に必要な外気温度はどれくらいですか?水冷の場合、水に関する具体的な要件は何ですか?要件が満たされていない場合、どのような結果が生じますか?
A: 水温と水流に注意してください。冷却が不十分だと、原因不明のシャットダウン、ポンプの故障、オイルの黒化などが発生する可能性があります。

12、分子ポンプ電源には接地とシールドの問題があります。最善の方法はどうすればよいですか?
A: 電源自体には接地線が付いています。必要なのは、都市ネットワークが適切に接地されていることを確認することだけです。シールドは主に、強力な磁場と強い放射線のシールドを指します。

13、インバータ電源、自動シャットダウンの過程で速度が上がります。つまり、表示が「Poff」になりますか?
A: 低電圧

14、分子ポンプのベアリングが焼けるのはなぜですか?

理由

ソリューション

定期的なメンテナンスが不足している タイムリーなメンテナンス
冷却不良によるオーバーヒート 冷却システムの点検
タイムリーなオイル交換の欠如 タイムリーなオイル交換
抽出ガス中のダスト含有量が高い 粉塵の隔離

15、分子ポンプの羽根が壊れた原因は?

要約すると、主なポイントは次のとおりです。

誤操作。突然の真空破壊など、ローターと静的サブブレードの間の隙間は非常に小さいため、ブレードの材質が薄いか柔らかい場合、急激な空気抵抗によりブレードが変形し、ローターと静的サブブレードの間に摩擦が発生する可能性があります。サブブレードが破損する恐れがあります
異物が落ちた場合。フィルターが取り付けられていないことは確かにそうではありません、また、物がどれだけ大きくなる必要はありませんが、十分な硬さが損傷を引き起こす可能性がある場合、軽い場合は刃先がギザギザに打ち付けられ、重い場合は刃が折れます。そこで現在、分子ポンプを設置する機器ディーラーは、異物が内部に落ちないように、設置の向きを90度変えるか、逆さまに設置しようとします。
電圧の不安定さ、特に磁気フロート型分子ポンプの場合、損傷が大きくなります

前段ポンプの効率が悪い。チャンバー内のガスの大部分がまず前段ポンプを通じて排出され、分子ポンプが開始する前に真空が特定のレベルに達することがわかっています。前段ポンプの効率が悪いと、分子ポンプの動作がより激しくなり、起動速度が遅くなり、排気時間が長くなり、大電流が発生し、分子ポンプの温度が上昇します。

動的バランスが取れていない場合、分子ポンプのメンテナンスが技術の鍵となります。動的バランスが悪く、振動が大きくなり、ポンプ効率が低下するだけでなく、軸受部分の過度の摩耗も引き起こしやすくなります。

 

ベアリング部分は純正標準ベアリングを使用していない、効果やサイズが規格外である等。

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投稿時間: 2022 年 12 月 9 日