前回の記事では、KF フランジについて説明しました。本日はCFフランジのご紹介です。
CFフランジの正式名称はコンフラットフランジです。超高真空システムで使用されるフランジ接続の一種です。その主なシール方法は銅ガスケットシールであるメタルシールであり、高温ベーキングに耐えることができます。銅製ガスケットは一度使用すると効果がほとんどなくなる可能性があることに注意することが重要です。高真空要件を必要とするシステムの場合、フランジを分解するたびに交換する必要があります。最大 10 ～ 12 mbar の真空レベルに適しています。フランジは通常 304、316 ステンレス鋼などです。
スーパーQテクノロジー
CFシリーズ真空アクセサリ
投稿日時: 2022 年 9 月 22 日